配置IR專用物鏡,，可用于透過硅材料成像,，進行半導體檢查和測量

奧林巴斯BX/MX系列紅外顯微鏡配備的5X到100X紅外（IR）物鏡，提供了從可見光波長到近紅外的像差校正,。

對于高放大倍率的物鏡,，配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導致的像差,，使用一個物鏡即可獲取清晰的圖像,。

電子設備在當今現(xiàn)代科技中已非常普遍。每個人很有可能已經(jīng)在使用電子設備時,，間接遇到并使用了硅晶圓,。 晶圓是一種薄的半導體材料基材，用于制造電子集成電路,。半導體材料種類多樣,，電子器件中*常用的一種半導體材料是硅 (Si)。硅晶圓是集成電路中的關鍵部分,。它由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成,，用作制造晶圓內(nèi)和晶圓表面上微電子器件的基板,。硅晶圓會積累在生長、切割,、研磨,、蝕刻、拋光過程中的殘余應力,。因此,，硅晶圓在整個制造過程中可能產(chǎn)生裂紋，如果裂紋未被檢測到,，那些含有裂紋的晶圓就在后續(xù)生產(chǎn)階段中產(chǎn)生無用的產(chǎn)品,。裂紋也可能在將集成電路分割成單獨 IC 時產(chǎn)生。因此,，若要降低制造成本,，在進一步的加工前，檢查原材料基材的雜質(zhì),，裂紋以及在加工過程中檢測缺陷非常重要,。

近紅外一般定義為700-1600nm波長范圍內(nèi)的光線,，由于硅傳感器的上限約為1100nm，砷化銦鎵（InGaAs）傳感器是在近紅外中使用的主要傳感器,，可覆蓋典型的近紅外頻帶,。大量使用可見光難以或無法實施的應用可通過近紅外成像完成。當使用近紅外成像時,，水蒸氣,、霧和硅等特定材料均為透明，因此紅外顯微檢測被應用于半導體行業(yè)的各個方面,。