三維表面測量儀采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取,，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式,，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù),。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面,，不需要在真空環(huán)境下測量,，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,，在測量漸變較大的高度時,，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度,，建立3D立體影像,，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

     NanoFocus µsurf cylinder汽缸表面無損檢測系統(tǒng)是氣缸套的表面高分辨率非破壞性測量的共焦三維表面測量系統(tǒng),。在眾多汽車公司和供應(yīng)商的開發(fā)與質(zhì)量控制部門被廣泛使用,。配合潛望鏡式光學(xué)設(shè)計，測量頭浸沒在缸孔,，可在非常短的時間到達(dá)任何測量位置自動化的測量過程都將存儲在數(shù)據(jù)庫中便于重復(fù)測量和連續(xù)檢驗,。  

     測量過程中的自動化選項由一個可以自動直線運行的機(jī)械系統(tǒng)所完成，測量頭可通過移動自動完成位于一個發(fā)動機(jī)的多個氣缸的檢測,，整個過程中不需要用戶的再引導(dǎo)或人工干預(yù),，此系統(tǒng)配備有懸臂系統(tǒng)和托盤保證了人體工學(xué)的工作環(huán)境。

應(yīng)用

三維表面測量儀用來測量汽車引擎缸體內(nèi)部(發(fā)動機(jī)氣缸內(nèi)壁)表面物理形貌,，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析(磨損分析,、缺陷分析)，如3D表面形貌,、2D的縱深形貌,、輪廓（縱深、寬度,、曲率,、角度）,、表面粗糙度等。有利于提高成形性,，改善外觀以及涂漆性能,，降低磨損，提高效率,。

產(chǎn)品特性：

（1）耐用可靠

（2）無損測量

（3）光學(xué)分辨率高

（4）速度快,，數(shù)秒內(nèi)完成測量

（5）真實的3D數(shù)據(jù)

產(chǎn)品功能：

（1）紋理分析（角度分析）

（2）粗糙度計算符合DIN EN ISO標(biāo)準(zhǔn)

（3）計算三維表面粗糙度參數(shù)

（4）磨損分析，缺陷檢測和體積參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時間：5~10秒

測量原理：非接觸,、共聚焦

計算機(jī)：高性能計算機(jī)控制系統(tǒng),，功能全面的軟件，有拼接功能,，

工作電源：100-240V, 50-60Hz, input<45W

外型尺寸：高490mm,，特殊轉(zhuǎn)接環(huán)直徑280mm

集成箱尺寸（包含主機(jī)，系統(tǒng)控制器,，電子模塊等）：540*710*795mm

重量：11KG

潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

物鏡倍數(shù) 10X 20X 50X

單次測量面積（um） 1100*1100 550*550 220*220

NA值 0.3 0.45/0.6 0.8

工作距離（mm） 10.1 3.1/0.9 1

Z軸精度（nm） 20 <10 <2

XY軸精度（um） 1.9 0.95 0.38