中型等離子清洗機：
主要應用于LCD,、連接器,、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領域。

特點：所有元器件及核心部件采用進口,，保證了整機的穩(wěn)定性和使用壽命,。

真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系,，在抗氧化,、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗，使泵的壽命大大提高,，并有效降低了泵的維護成本,，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫,、抗氧化油,，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷,。泵體內置于機柜內部,，使機器緊湊，占地面積小,。

控制方式：自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制,，所有工藝參數(shù),、工藝過程實時監(jiān)控,，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝曲線記錄,、工作時間記錄,，適合維護，可以提供工藝參考,。

標準型號：NT-60,、NT-80、NT-100,、NT-120,、NT-150。

◎可存儲50組工藝配方,，隨意調用,。
◎清洗時間、潔凈壓力,、射頻功率,、工藝氣體流量、設定可調,。
◎工藝參數(shù)受密碼保護,，分級密碼管理查詢。
◎一鍵完成全自動工藝,，實時故障報警,、非法操作提示、清潔結束提示等,。
◎自動提醒系統(tǒng)維護,、更換真空泵油等，避免機器過載,、過老化情形下工作,，延長使用壽命。
◎氣體質量流量計采用美國進口，由模擬輸入輸出,，量程為0～200sccm可在量程范圍內無級調節(jié),，根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC可對質量流量計進行PID調節(jié)而實現(xiàn)真空度的控制。
◎根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵,，尾氣處理設備,，油過濾器，過濾返油裝置等,。電極結構的高等離子通量設計能很好地提高等離子體地均勻性及穩(wěn)定性,。