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MX-IR/BX-IR透視紅外線顯微鏡

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數(shù)碼顯微鏡 電化學(xué)工作站、恒電位儀 粉碎機,、研磨機,、研磨儀、球磨機

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MX-IR/BX-IR透視紅外線顯微鏡

MX-IR/BX-IR透視紅外線顯微鏡是像透過玻璃似的可透視紅外線顯微鏡,。適用于封裝芯片,、晶圓級CSP/SIP的非破壞檢查。

透視紅外線顯微鏡特點:

非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部

隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化,、超薄化的需求,,半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進化。使用近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package),、三維組裝,、CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進行無損檢查和分析。

倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析

在倒裝芯片的焊接中,,組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查,。但是,如果使用近紅外線顯微鏡,,則可以在不破壞封裝的前提下,,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。只要置于顯微鏡下,,就可以輕松進行不良狀況分析,。對必需用FIB(Focused Ion Beam)處理位置的也有效。

晶圓級CSP開發(fā)的環(huán)境試驗導(dǎo)致芯片損壞

晶圓級CSP的高溫高濕試驗導(dǎo)致器件的變化,,可以用非接觸方式檢查。此外,,還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電,、樹脂部分的剝離等。

鋁引線部分(內(nèi)面觀察)
鋁引線部分(內(nèi)面觀察)

焊錫溢出性評價
焊錫溢出性評價

電極部分(內(nèi)面觀察)
電極部分(內(nèi)面觀察)

針對不同樣品的顯微鏡產(chǎn)品陣容

MX系列產(chǎn)品(半導(dǎo)體檢查型號)

可以用來觀察150~300 mm晶圓等的大型樣品,。只對應(yīng)反射照明觀察,。

半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61

工業(yè)檢查顯微鏡 MX51

工業(yè)檢查顯微鏡 MX51

BX系列產(chǎn)品(標準型號)

Motorized System Microscope for Reflected and Transmitted Light
研究級全電動系統(tǒng) 
金相顯微鏡 BX61

對應(yīng)反射光觀察和透射光觀察。

BXFM(嵌入式設(shè)備型號)

小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM
小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM

能嵌入設(shè)備的小型設(shè)計,。 



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