產(chǎn)品型號(hào)

HVS-03G高真空分子泵系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

HVS-03G分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理,，利用機(jī)械泵,、渦輪分子泵組合成真空獲得系統(tǒng)，具有啟動(dòng)時(shí)間快,、真空度高,、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析,、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù),、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域,。設(shè)備的具體組成主要包括真空測(cè)量系統(tǒng),、真空室,、閥門(mén)及真空管路,、電器控制系統(tǒng)等,。

技術(shù)參數(shù)

1,、分子泵機(jī)組極限真空度（空載）：≤9×10-5Pa

2、真空系統(tǒng)漏率：≤5×10-9PaM3/s

3,、電源：220v±10/50Hz

4,、電源插頭：16A

5、冷卻方式：水冷或風(fēng)冷（環(huán)境溫度5-40℃）

6,、平臺(tái)承重：≤100kg

7,、真空規(guī)參數(shù)：ZDF-11A2

測(cè)量范圍：1.0×10⁵ ～1×10^-5Pa

配接規(guī)管：ZJ-52T一只，ZJ-27一只

注意事項(xiàng)

1,、拆開(kāi)包裝箱,，將設(shè)備從箱體中取出,，檢查設(shè)備有無(wú)損壞,，將設(shè)備的電源線接好,，檢查地線與設(shè)備是否接好,。

2,、在接入供電電源時(shí),，務(wù)必要確認(rèn)是否和設(shè)備要求的電源電壓相符,。

設(shè)備安裝應(yīng)在平地上，豎直方向上與垂直方向上與垂直方向夾角小于5°,。安裝后要固定腳輪,。

3、機(jī)械泵的排氣口必須順暢,，不得在封堵排氣口情況下啟動(dòng)泵,。

4、機(jī)械泵在運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查油位,，不要在泵沒(méi)有加油或缺油的情況下使用否則會(huì)造成泵的失效,。

5、觀察機(jī)械泵油顏色,，正常泵油是清潔和透明的；若泵油顏色變暗火渾濁時(shí)需要換油,。切勿在泵溫較高的情況下?lián)Q油,，必須等泵冷卻到低于50℃的溫度時(shí)方可換油。

6,、分子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)盡量避免在泵體及控制器附近施加比較大的或是頻繁的震動(dòng),避免沖擊鉆作業(yè)和任何會(huì)產(chǎn)生較大磁場(chǎng)的作業(yè),。

7、啟動(dòng)分子泵前,，系統(tǒng)壓強(qiáng)≤100 Pa,。