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超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 13:34:41
  • 訪問(wèn)次數(shù) 2679
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沉積系統(tǒng)

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國(guó)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\(chéng)信』,、『品質(zhì)』、『服務(wù)』,、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,,為廣大中國(guó)用戶提供儀器、設(shè)備,,周到的技術(shù),、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異,、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó),,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征,、表面材料物性分析,、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,,都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn),。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代,,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?,見證中國(guó)科技水平的提升,與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng),。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國(guó)香港,,在中國(guó)上海設(shè)立了分公司,在國(guó)內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù),。2010年,,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉(cāng)庫(kù)及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),,我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國(guó)外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn),。上海配備了多種維修部件,,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),,72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修,。以利于更好、更快的為中國(guó)大陸服務(wù),!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求,。我們已經(jīng)為國(guó)內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,,中科院半導(dǎo)體所,,中科院大連化學(xué)物理研究所,國(guó)家納米中心,,上海納米中心,,北京大學(xué),清華大學(xué),,中國(guó)科技大學(xué),,南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),,上海交通大學(xué),,華東理工大學(xué),浙江大學(xué),,中山大學(xué),,西安交通大學(xué),四川大學(xué),,中國(guó)工程物理研究院,,香港大學(xué),香港城市大學(xué),,香港中文大學(xué),,香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),,鍍膜機(jī),,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),,氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,,稀釋器,,濾料測(cè)試系統(tǒng)

超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

該系統(tǒng)由全球?qū)I(yè)的沉積設(shè)備商制造,配置多種沉積方式(預(yù)留各種功能接口),高度靈活,非常適合多種沉積模式的科研.

目前該系統(tǒng)的超高真空條件沉積模式(僅用機(jī)械泵+分子泵,極限真空可達(dá)5X10E-10Torr),。多種組合沉積模式,,同一腔體實(shí)現(xiàn)多種功能沉積方式,沉積源模式有:
磁控濺射源
電子束蒸發(fā)源
熱蒸發(fā)源


超高真空多腔室物理氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

該系統(tǒng)高度靈活,,軟件操作方便,,專業(yè)為研究機(jī)構(gòu)沉積超純度薄膜,是真正的超高真空沉積系統(tǒng),。
超高真空多腔室物理氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
極限真空:<5x 10E-10 torr(經(jīng)過(guò)24小時(shí)烘烤冷卻后),;
鍍膜均勻度:<3%
樣品傳送: 便捷安放上置襯底
機(jī)柜: 占用空間小結(jié)構(gòu);
樣品臺(tái)工作: 旋轉(zhuǎn), 加熱, 加載偏壓,;
樣品操作: 預(yù)抽真空室,;
樣品尺寸: 1”、 2”,、 3”,、 4” 、8”,、12”等,;
膜厚監(jiān)控: 石英晶體微天平, 橢偏儀;
烘烤: 內(nèi)置加熱或外置保溫加熱,;
簡(jiǎn)單方便 的全自動(dòng)軟件操作:全自動(dòng)抽取真空并且程序自動(dòng)運(yùn)行,。




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