開爾文探針系統(tǒng)-半導體表征

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,，用于測量導體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導體,、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由最上層的1-3層原子或分子決定,，所以開爾文探針是一種靈敏的表面分析技術(shù),。

開爾文探針系統(tǒng)-半導體表征包括：

□   單點開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□   掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境),；

□   超高真空(UHV)開爾文探針,；

□   濕度控制的腐蝕開爾文探針；

(ASKP)

   ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng),，它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器,、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置，其規(guī)格如下：

□    2毫米,，50微米探針；

□    功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),，5-10 meV(50微米針尖),；

□    針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內(nèi),；

□    表面勢和樣品形貌3維地圖；

□    探針掃描或樣品掃描選配,；

□    彩色相機、調(diào)焦鏡頭,、TFT顯示器和專業(yè)的光學固定裝置；

□    參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌),；

□    備用的針尖放大器；

□    24個月超長質(zhì)保期,；

儀器的特色

□    全球臺商用的*意義上的,；

□    最高分辨率的功函數(shù)和表面勢，好的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性,；

□    非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號探測系統(tǒng)在高信號水平下工作,，與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比,，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度,；

□    高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數(shù)受　　　　　　　　　　　　　　樣品形貌的影響,，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會漂移,；

□    該領域內(nèi)，擁有好的信噪比,；

□    快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間,，遠快于其他公司產(chǎn)品；

□    功能強的驅(qū)動器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動器,，與通常的壓電驅(qū)動器相比,，VC驅(qū)動器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多,、支持平行多探針操作,、支持不同直徑探針操作,；

□    所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制；

應用領域

   吸附,，電池系統(tǒng)，生物學和生物技術(shù),，催化作用,，電荷分析，涂層,，腐蝕,，沉積，偶極層形成,，顯示技術(shù),，教育，光/熱散發(fā),，費米級掃描,，燃料電池，離子化,，MEMs,，金屬，微電子,，納米技術(shù),，Oleds，相轉(zhuǎn)變,，感光染色，光伏譜學,，高分子半導體,，焦熱電，半導體,，傳感器,，皮膚，太陽能電池,，表面污染,，表面化學，表面光伏,，表面勢,，表面物理，薄膜,，真空研究,，功函數(shù)工程學,；

目前通過我司購買的的開爾文探針測試系統(tǒng)，目前在南昌航空大學工作正常,，運行穩(wěn)定,。