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超高真空多功能薄膜制備系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 11:25:44
  • 訪問次數(shù) 1432
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薄膜制備系統(tǒng)

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理,??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』,、『服務(wù)』,、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器,、設(shè)備,,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案,。在科技日新月異,、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究,、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長(zhǎng)和表征,、表面材料物性分析,、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn),。科睿設(shè)備有限公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)火熱的年代,,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長(zhǎng),。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù),。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),,我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn),。上海配備了多種維修部件,,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),,72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)維修,。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù),!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求,。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,,中科院半導(dǎo)體所,,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,,上海納米中心,,北京大學(xué),清華大學(xué),,中國科技大學(xué),,南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),,上海交通大學(xué),,華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),,西安交通大學(xué),,四川大學(xué),中國工程物理研究院,,香港大學(xué),,香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),,香港科技大學(xué)等,。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),,磁控濺射鍍膜儀,,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),,氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,,稀釋器,,濾料測(cè)試系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合

超高真空多功能薄膜制備系統(tǒng)

儀器簡(jiǎn)介:
此系統(tǒng)可以配置多種沉積方式(預(yù)留各種功能接口),高度靈活,非常適合多種沉積模式的科研.
高真空條件沉積模式(使用機(jī)械泵+分子泵,或冷凝泵),。多種組合沉積模式,,同一腔體實(shí)現(xiàn)多種功能沉積方式,沉積源模式有:
磁控濺射源Sputter source
電子束蒸發(fā)E-beam Sources
K-cell蒸發(fā)
熱蒸發(fā)Thermal sources
氧化物源Oxide sources
此系統(tǒng)高度靈活,,軟件操作方便,,專業(yè)為研究機(jī)構(gòu)沉積超純度薄膜,真正的高真空沉積系統(tǒng),。
The  System is designed to be a highly flexible system for thin-film research in ultra pure conditions. The system can be configured to be true-UHV and allows for multiple deposition component options.

感謝中科院上海應(yīng)用物理研究所上海光源同步實(shí)驗(yàn)部用此設(shè)備,,為廣大專業(yè)研究人員提供服務(wù)??!
上海光源同步實(shí)驗(yàn)部配置的是磁控濺射(直流和射頻均有)和電子束蒸發(fā)的組合功能,膜厚均勻性(鍍膜500納米左右厚度)均達(dá)到<3%,,這種組合系統(tǒng)極大地?cái)U(kuò)展了沉積功能,,性能價(jià)格比超高,是研究人員的有力工具??!
使用此系統(tǒng)的主要用戶還有:中科院微系統(tǒng)所,北京大學(xué),,中國科技大學(xué),,中北大學(xué)等

超高真空多功能薄膜制備系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù):
頂部法蘭: 12”
Radial ports:4 x NW100CF
沉積接口: 5 x NW100CF, 4 x NW35CF
分子泵: 300ls , 500 ls options
樣品操作: Quick-open top-lid.
極限真空:<5x 10E-10 (24小時(shí)烘烤)
機(jī)柜: Low footprint frame on transport casters
樣品臺(tái)操控: Rotation, heating, bias
樣品操作: Load-Lock (可選)
Sample size樣品尺寸: 1”, 2”, 3”, 4” ,,大到8”,12”等
膜厚監(jiān)控: QCM, Ellipsometry
烘烤: Internal or jacket
全自動(dòng)軟件操作,,方便簡(jiǎn)單:Automation Touch screen pump down and process automation
系統(tǒng)尺寸:
Width: 1.5m
Height: 1.6m
Length (standard): 1.3m
Length: (with Loadlock): 2.0m

主要特點(diǎn):
Top-loading chamber (500mm直徑)
超高真空匹配接口
多種沉積源模式接口
Analysis, load-lock and viewing ports
多種樣品夾具,, 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),加熱/冷卻,,DC/RF偏壓
多種沉積源模式:包括 high-rate e-beam, low-rate (high accuracy) e-beam, DC and RF sputtering, thermal, K-cell,oxide sources.





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