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反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備(美國產(chǎn),,高性價(jià)比)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 11:13:15
  • 訪問次數(shù) 1883
產(chǎn)品標(biāo)簽

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理,??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』,、『服務(wù)』,、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器,、設(shè)備,,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案,。在科技日新月異,、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究,、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征,、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā),、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,,與中國科技共同飛速成長,。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù),。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),,我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn),。上海配備了多種維修部件,,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),,72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場維修,。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù),!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求,。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,,中科院半導(dǎo)體所,,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,,上海納米中心,,北京大學(xué),清華大學(xué),,中國科技大學(xué),,南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),,上海交通大學(xué),,華東理工大學(xué),浙江大學(xué),,中山大學(xué),,西安交通大學(xué),四川大學(xué),,中國工程物理研究院,,香港大學(xué),香港城市大學(xué),,香港中文大學(xué),,香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),,鍍膜機(jī),,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),,氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,,稀釋器,,濾料測試系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合

反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備(美國產(chǎn),高性價(jià)比)

儀器簡介:
應(yīng)用:
-聚合物或光阻的等溫各向同性干刻
-硅片或玻璃表面清潔
-硅表面氧化去除

反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備(美國產(chǎn),,高性價(jià)比)技術(shù)參數(shù):
配置,隨機(jī)附件,、備品備件:
(1)6英寸水冷樣品臺
(2)200瓦射頻發(fā)生器和手動匹配器,,watt RF Generator and manual matching network
(3) 雙數(shù)字讀取前端和反射功率 ,Dual digital readout of forward and reflected power
(4) 雙氣體控制,,Dual gas controls
(5) 獨(dú)立的排空控制,,Separate vent control
(6) 石英腔體,Quartz chamber
(7) 直流偏壓表顯示,,DC bias meter display
(8) 數(shù)字時(shí)間計(jì)時(shí)器,, Digital termination timer
(9) 射頻防護(hù),RF shield
(10)  分子泵,,Turbo pump
(11) 耐腐蝕羅茨機(jī)械泵,,Corrosive series rotary vane roughing pump
(12) 電容壓力真空規(guī),Capactiance manometer
(13) 不銹鋼氣體分樣環(huán),, Stainless steel gas distribution ring
(14)質(zhì)量流量計(jì),,Mass Flow Controller
(15)產(chǎn)品詳細(xì)的英文操作、維護(hù)指南1套

技術(shù)性能指標(biāo):
(1)真空: 真空可以達(dá)到10-6 Torr,所用的渦輪分子泵轉(zhuǎn)速為70轉(zhuǎn)/秒,。工作時(shí)氣壓可達(dá)10-3 Torr以上,。
(2)氣體輸送: 兩個(gè)通道,均采用不銹鋼材料,內(nèi)置氣體噴淋;
(3)系統(tǒng)排空: 獨(dú)立自鎖螺線管路,和氮?dú)饪谙噙B,;
(4)射頻電源: 功率為0-200瓦,,可任意調(diào)節(jié);高頻電場頻率為13.56 MHz,手動調(diào)節(jié),空氣冷卻,;
(5)刻蝕處理時(shí)間: 單次刻蝕時(shí)間可達(dá)到100小時(shí), 可自行設(shè)定終止時(shí)間,;
(6)刻蝕速率:對氧化物每分鐘20納米,對氮化物每分鐘50納米,;各類材料刻蝕均勻性<±5% (4寸圓片,,49點(diǎn)測量),刻蝕速率片間穩(wěn)定性<5%
(7)真空腔體: 石英材料, 外徑8英寸,,高4英寸,;
(8)真空表頭:前端屏幕數(shù)值顯示,;
(9)氣體控制: 兩個(gè)獨(dú)立的針閥,具有安全自鎖功能;
(10)樣品臺: 可放置直徑6英寸以下的樣品,,具有水冷功能




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