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深能級(jí)瞬態(tài)譜儀2-半導(dǎo)體表征

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/2/27 10:52:55
  • 訪問次數(shù) 3332
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深能級(jí)瞬態(tài)譜儀

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』,、『品質(zhì)』、『服務(wù)』,、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,,周到的技術(shù),、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異,、國力飛速發(fā)展的中國,,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析,、生物藥物開發(fā),、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn),??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄?,見證中國科技水平的提升,,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,,在中國上海設(shè)立了分公司,,在國內(nèi)多個(gè)城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù),。2010年,,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時(shí)提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),,我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便,。我們承諾24小時(shí)電話響應(yīng),72小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場維修,。以利于更好,、更快的為中國大陸服務(wù)!
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求,。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,,中科院大連化學(xué)物理研究所,,國家納米中心,上海納米中心,,北京大學(xué),,清華大學(xué),中國科技大學(xué),,南京大學(xué),,復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),,華東理工大學(xué),,浙江大學(xué),,中山大學(xué),西安交通大學(xué),,四川大學(xué),,中國工程物理研究院,香港大學(xué),,香港城市大學(xué),,香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等,。



光刻機(jī),,鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,,氣溶膠粒徑譜儀,,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),,快速退火爐,,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,,濾料測試系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,電氣,綜合

深能級(jí)瞬態(tài)譜儀2-半導(dǎo)體表征

儀器簡介:
   美國高分辨深能級(jí)瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì),、缺陷深能級(jí)、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段,!測試功能:電容模式,、定電容模式,、電流模式,、(雙關(guān)聯(lián)模式)、光激發(fā)模式,、FET分析,、MOS分析、等溫瞬態(tài)譜,、Trap profiling,、俘獲截面測量、I/V,I/V(T) ,、C/V, C/V(T) ,、TSC/TSCAP 、光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜,、DLOS,。
   測試根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié),、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法,,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì),、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài)。通過對(duì)樣品的溫度掃描,,給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì),、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動(dòng)的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析,,可以確定雜質(zhì)的類型,、含量以及隨深度的分布。
   也可用于光伏太陽能電池領(lǐng)域中,,分析少子壽命和轉(zhuǎn)化效率衰減的關(guān)鍵性雜質(zhì)元素和雜質(zhì)元素的晶格占位,,確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命。
   感謝中國科學(xué)院寧波材料研究所,國家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心 南昌大學(xué) 西安電子科技大學(xué)成為此設(shè)備的專業(yè)用戶??!
   此設(shè)備在全球用戶眾多,比歐洲設(shè)備性能價(jià)格比高,,是研究材料深能級(jí)領(lǐng)域的理想工具?。?/strong>

深能級(jí)瞬態(tài)譜儀2-半導(dǎo)體表征

系統(tǒng)配置:
DLTS數(shù)據(jù)采集及分析軟件  (DLTS, ODLTS, DDLTS)
Boonton 7200型快速電容測試器
自動(dòng)電容零點(diǎn)界面
數(shù)據(jù)采集卡及中斷箱
ODLTS穿導(dǎo)件
機(jī)柜安裝硬件及電纜
設(shè)備機(jī)柜
GPIB 接口卡
電腦是雙核, 2GB 內(nèi)存, 19”顯示器. USB 接口, CD書寫用于數(shù)據(jù)傳輸.
可調(diào)節(jié)探針(2)
閉環(huán)液氦制冷機(jī) (25-700K)
溫度控制器

電容測試器指標(biāo):
型號(hào): Boonton 7200
電容零點(diǎn)界面: Yes
全自動(dòng)電容補(bǔ)償: Yes
全自動(dòng)范圍設(shè)置: Yes
響應(yīng)時(shí)間: ~25μsec
補(bǔ)償范圍: 256pF
測試頻率: 1MHz
測試信號(hào)級(jí)別: 15, 30, 50, 100 mV
電容范圍: 2000pF
靈敏度: 1fF
電壓范圍: +100V to –100V (Boonton)
         +10V to –10V (數(shù)據(jù)采集卡)
靈敏度:    1mV (電壓小于 20V時(shí)), 10mV (電壓大于 20V時(shí))
         0.3mV (數(shù)據(jù)采集卡)
脈沖寬度:  15ms to >0.1sec (Boonton內(nèi)置偏壓)
          5μs to >0.1sec (數(shù)據(jù)采集卡)
脈沖幅度:   到 200V, slew rate<20V/ms (Boonton)
           到 20V, slew rate of 20V/μs (數(shù)據(jù)采集卡)
電流:       5mA

數(shù)據(jù)采集卡瞬時(shí)記錄:
采樣速率: 可至 1μs. 一般使用 >50μs  
采樣次數(shù): >10,000.
記錄分辨率: 50ns暫時(shí)分辨率, 優(yōu)于 50aF 電容分辨率
過濾: 全自動(dòng)檢測及正弦噪音消除




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  • 使用方法說明書,、售后服務(wù)
  • 其他
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