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基質輔助脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/2/27 10:37:34
  • 訪問次數 1315

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,,謝謝!


科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』,、『品質』、『服務』,、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,,為廣大中國用戶提供儀器、設備,,周到的技術、服務和*的整體解決方案,。在科技日新月異,、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學研究,、薄膜材料(包括半導體)生長和表征,、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā),、有機高分子合成等等領域,,都需要與歐美發(fā)達國家*接軌的儀器設備平臺來實現(xiàn)??祁TO備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,,與中國科技共同飛速成長,。
      科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,在中國上海設立了分公司,,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,,旨在為客戶提供*的產品和服務。2010年,,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,我們擁有專業(yè)的應用維修人員,,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓,。上海配備了多種維修部件,,能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應,,72小時內趕到現(xiàn)場維修,。以利于更好、更快的為中國大陸服務,!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求,。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,,中科院半導體所,,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,,上海納米中心,,北京大學,清華大學,,中國科技大學,,南京大學,復旦大學,,上海交通大學,,華東理工大學,浙江大學,,中山大學,,西安交通大學,四川大學,,中國工程物理研究院,,香港大學,香港城市大學,,香港中文大學,,香港科技大學等。



光刻機,,鍍膜機,,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,,開爾文探針系統(tǒng)(功函數測量),,氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),,原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,,氣溶膠發(fā)生器,,稀釋器,,濾料測試系統(tǒng)

應用領域 能源,電子,電氣,綜合

基質輔助脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)

儀器簡介:
中科院寧波材料所于2014年1月向我司訂購一臺MAPLE系統(tǒng),該系統(tǒng)為*臺“基質輔助脈沖激光沉積系統(tǒng)”,!


基質輔助脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)MAPLE處理過程
在MAPLE工藝中,,聚合物/溶劑混合物用液氮凍結在沉積室內。然后,,冷凍混合物作為入射脈沖激光束的目標,。使用脈沖激光,一小部分冷凍目標將在非常短的時間內蒸發(fā),,將混合物扔進氣相,。聚合物材料隨后沉積在基板上,而溶劑將被泵走(如果你選擇正確的溶劑),。這一過程已被用于成功地沉積各種各樣的聚合物材料,。

激光器

最初的MAPLE工作使用激光器,但是IR激光器提供更好的聚合物薄膜質量,。原因是激光器的每光子能量在5 eV以上的248 nm(KrF)處工作,。這足以破壞聚合物鏈并降低沉積的聚合物材料的功能性。MAPLE系統(tǒng)使用Er:YAG激光器,,工作在2.9微米,,每個光子只有大約0.3eV的能量。因此,,聚合物的功能性保持完整,因為聚合物鏈不被低能光子斷裂,。.

樣品注入

MAPLE系統(tǒng)采用*的注射工藝,,在清洗了水蒸氣室之后,使聚合物/溶劑混合物原位凍結,。我們的MAPLE系統(tǒng)利用快速目標冷卻和快速目標加熱組件來加大吞吐量,。我們的旋轉目標組件與冷卻塊進行良好的熱接觸  

腔體設計



系統(tǒng)技術指標:
最大襯底尺寸
One 2-inch diameter substrate or multiple small samples. Larger substrates and custom substrate holders are available on request.

最大襯底溫度:300°C typical, but other heaters are available.
MAPLE靶材溫度: -194°C (80 K)
壓力操作范圍:Base pressure depends strongly on polymer/solvent mix and the solvent vapor pressure
MAPLE靶材尺寸:Single 1.5” diameter target standard, larger targets available on request.
靶材到襯底(Throw) 距離:Variable from 2.5 to 4 inches
光柵路徑長度:Across complete MAPLE target
標準的激光束射向靶材入射角度:60°
主腔體本底真空:P < 5 x 10-7 Torr guaranteed with system at room temperature and no polymer/solvent mix.
真空腔體:Box style chamber with easy substrate / target changes.
激光波長:2.9 microns (Er:YAG laser), other lasers/wavelengths available on request.

VIS/NIR Resonant PLD/MAPLE 處理過程

這個過程使用倍頻Nd:YAG激光器泵浦OPO。OPO的輸出范圍約為680~2400 nm,,脈沖長度為幾ns,。在VIS中,每個脈沖的能量在波長范圍從120mJ變化很大,,而在IR中則下降到15mj,。通過調諧激光器的波長,用戶可以耦合到特定材料的振動帶,,從而提供到目標材料的非常強的耦合,。這可以產生很高的沉積速率,特別是對于聚合物材料的目標損傷小,。這個過程也可以和MpPialGART一起使用,。





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