化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐> 安晟1200℃RTP滑動(dòng)式快速退火爐
安晟1200℃RTP滑動(dòng)式快速退火爐
- 公司名稱(chēng) 鄭州安晟科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/8/1 7:32:40
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 2453
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高溫爐,,高溫馬弗爐,實(shí)驗(yàn)室電爐,,箱式氣氛爐,,真空管式爐,鄭州烘箱,,鼓風(fēng)干燥箱,,細(xì)菌培養(yǎng)箱,光照培養(yǎng)箱
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) |
---|---|---|---|
儀器種類(lèi) | 管式爐 |
安晟1200℃RTP滑動(dòng)式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,,真空度用分子泵可以到10-5Torr,,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌,,可用手動(dòng)滑動(dòng),。加熱和冷卻速率最大可達(dá)100°C/m。為取得較快加熱,,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻,,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端,。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子,。 可選擇單設(shè)定點(diǎn)或30段可編程控制器,。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu),可將外表溫度降到常溫,。均溫區(qū)長(zhǎng),,操作簡(jiǎn)便,密封可靠,,綜合性能指標(biāo)較高,,處于國(guó)內(nèi)*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼,、石英玻璃,、陶瓷管等材料。
安晟1200℃RTP滑動(dòng)式快速退火爐適用范圍:可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下,對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理,,主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室,、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,如:薄膜沉積,,不同材料快速退火,、硅化、擴(kuò)散,、晶化和致密化等,。
產(chǎn)品特點(diǎn):
多晶纖維爐膛,節(jié)能耐腐蝕
重量輕,、升溫速度快,、節(jié)能、省時(shí),、耐高溫,、耐腐蝕、保溫性好,,能滿(mǎn)足何種快速燒結(jié)的要求,。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫,、化學(xué)穩(wěn)定性好,、電絕緣性好。
雙層內(nèi)膽爐殼,,配有風(fēng)冷系統(tǒng),,快速升降溫
整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃,,爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)
有效的提高了法蘭的氣氛性,,法蘭上裝有多種接頭,,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/p>
內(nèi)嵌式合金電熱絲,,升溫快,,壽命長(zhǎng)
加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲,發(fā)熱效率高,、耐高溫,、抗氧化、耐腐蝕,、升溫快,、壽命長(zhǎng),、高溫變形小、安裝維修方便,,使用壽命長(zhǎng),。
微電腦PID控制器,操作簡(jiǎn)便
操作簡(jiǎn)便,,控溫精確,、可靠、安全多段可編程控制,,可以簡(jiǎn)化復(fù)雜的試驗(yàn)過(guò)程,,真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表,,爐子加熱狀態(tài)一目了然。
最高溫度 | 1200℃(最高溫度可達(dá)1700℃) |
溫區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm(可根據(jù)需求定制) |
恒溫區(qū) | 260mm |
爐管尺寸 | Φ60*1500mm |
溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制 |
控溫精度 | ± 1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單項(xiàng) 50 Hz |
最大功率 | 3KW |
凈重 | 80KG |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,,不掉粉,、材料保溫性能好、反射率高,、溫場(chǎng)均衡,,抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封,、撤卸方便,、可重復(fù)撤卸,氣密性好,、可保證12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn) |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動(dòng)長(zhǎng)度:1200mm |
測(cè)溫元件 | K型熱電偶測(cè)溫 |
爐管材質(zhì) | 可選氣煉石英爐管,、剛玉爐管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |