型號

Vast LS Series

范圍

X:500-2000mm or longer（需定制）

Y:600-3000mm or longer（需定制）

Z:100mm（Longer Option Available）       

測量準(zhǔn)確度

3.5+L/250（um）-5.5+L/250（um）

測量準(zhǔn)確度

3.0+L/400（mm）

包含BLM的承載能力

25Kg-50Kg

不包含BLM的承載能力

500Kg-2000Kg

分辨率

0.1um

電機

Linear Motor（X,Y）and DC Servo（Z）

速度

XY：300-500mm/sec；Z：100mm/sec

加速度

XY：500-1000mm/sec,；Z：200mm/sec

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

花崗巖

軸承X與Y

直線運動軸承

電力

220VAC,，40Amp,，3Phase,50-60Hz

光學(xué)

可編程12：1光學(xué)放大20x-245x with1xObject Lens

成像系統(tǒng)

彩色CCD攝像機

照明

LED Coaxial Light/LED背光源

表面LED環(huán)形燈

LED環(huán)形燈5 Rings×8 Sectors×40 Segments

線掃描激光器

平整度激光掃描分析軟件

同軸激光器（可選）可補償同軸激光器

接觸式探針

RENISHAW接觸式探針 使用iTouch軟件

運動控制

DCC，操縱桿,，Mouse

計算機

Core2 DUO/19〞LCD顯示器/2GB RAM

軟件

New iView-PRO/Windows XP 運營體制

平板固定裝置（可選）

氣動式自動平板固定裝置