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化工儀器網>產品展廳>行業(yè)專用儀器及設備>其它行業(yè)專用儀器>其它專用儀器> 納米精度電動平移臺。

納米精度電動平移臺,。

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上海昊量光電設備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,,昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經銷,,致力于引進guo外*先進性與創(chuàng)新性的光電技術與可靠產品,為國內Z前沿的科研與工業(yè)領域提供優(yōu)質的產品與服務,,助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前,,昊量光電已經與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系,。其代理品牌均處于相關領域的發(fā)展前沿,,產品包括各類激光器、光電調制器,、光學測量設備,、精密光學元件等,所涉足的領域涵蓋了材料加工,、光通訊,、生物醫(yī)療、科學研究與國防等,。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注,,專注成就未來”的經營理念。近年來,,我們專注于前沿的細分市場,,為量子光學、生物顯微,、物聯傳感,、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統解決方案,。

作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業(yè),我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業(yè)背景,,并在公司接受相關領域的專業(yè)培訓,,在售前技術溝通、售后產品安裝培訓,、產品問題解決,、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務!我們專業(yè)高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿易經驗與規(guī)范化的制度流程,,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信,、高效,、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀,,昊量光電堅持以誠信為基石,,憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值,實現各方共贏,!

立足于光電產業(yè),,昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業(yè)務領域的新邊疆,,立志打造的代理服務品牌,!



激光器調制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統掃描系統,探測器光子計數器,專用實驗設備,相機

產地類別 進口

納米精度電動平移臺

  • 產品圖片

納米精度,,大行程電動平移臺,!

所屬類別:光機產品/精密定位控制系統 » 電動平移臺

技術服務人員:李工(William)

納米精度電動平移臺。

 

電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅動的執(zhí)行裝置,,通過絲杠將步進電機的角位移轉換為平臺位移,。通常情況下該系統由三部分組成:位移臺、電機和控制器,。驅動電機及控制器主要決定驅動扭矩,、分辨率、加減速度,、信號處理等性能參數,。位移臺則是系統的心臟,主要指標參數有位移精度,、行程,、負載、穩(wěn)定性,、適用環(huán)境等,。

上海昊量光電設備有限公司推出的電動平移臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現高速平穩(wěn)運動,*的螺桿品質使平移臺擁有的分辨率,、定位精度,。采用超高等級交叉滾珠導軌,具有超高的運動性能,。該系統采用光柵尺閉環(huán)控制,,在確保大行程的同時,分辨率達到了1nm,。按照定位精度區(qū)分,,我司平移臺可分為 1nm高精度位移臺、5納米精度和10納米精度位移臺,、亞微米精度位移臺,。

11nm高精度電控位移臺。

該系類位移臺可分為諧波齒輪5相步進電機驅動和普通的5相步進電機兩種類型的平移臺,。采用光柵尺位置反饋閉環(huán)控制使其分辨率可達到1納米,,重復定位精度可達到±2nm,可提供20mm,、40mm50mm三種不同的行程,,并可以組裝成多維電控運動系統,。

25nm精度電控位移臺

該系類產品是一款擁有5納米定位精度的閉環(huán)控制平移臺,可提供 20mm,、40mm,、和50mm三個不同的行程,由于采用光柵尺位置編碼閉環(huán)反饋控制,,使其擁有優(yōu)秀的分辨率,、定位精度及重復定位精鍍。

 

310nm精度電控位移臺

該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統,。其采用光學線性位置編碼器,,在提供大行程的同時,使設備擁有較高的精度,。該系類評議臺可提供20mm,、40mm50mm,、100mm,、120mm150200mm等不同行程的電控位移臺,。

 

4)亞微米分辨率電控位移臺

該系類位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動系統,。該系統也是光學編碼閉環(huán)控制,精度可達到50-100nm,,可提供20mm,、40mm50mm,、100mm,、120mm150200mm等不同行程的電控位移臺,,并可以根據需求組成二維電控平移臺。

此外該系列平移臺提供在真空條件下的同規(guī)格的電控平移臺,,可承受的真空度可達到10-4Pa,,相當于10-6 torr的真空度。

 

  • 主要特點

  • 高分辨率
  • 高重復定位精度
  • 采用滾珠絲杠,,實現高精度定位
  • 采用高等級交叉滾珠導軌,,具有超高運動性能
  • 可提供真空同規(guī)格的真空版本平移臺

 

  • 主要應用

超精密激光加工、超精密三維掃描測量,、全自動計量儀器檢測設備,、工業(yè)自動化等領域。

 

  • 主要參數:

型號

行程(mm)

最大負(N)

分辨率(nm)

重復定位精(nm)

最大移動速度(mm/s)

AU-FS-1020 SPXMD

20

49

1

±2

0.4

AU-FS-1040 SPX(MD)

40

49

1

±2

0.5

AU-FS-1050 SPX(MD)

50

98

1

±2

0.5

AU-FS-1020UPX

20

49

1

±2

5

AU-FS-1040UPX

40

49

1

±2

5

AU-FS-1050UPX

50

98

1

±2

5

AU-FS-1020 SPX

20

49

5

±10

5

AU-FS-1040 SPX

40

49

5

±10

5

AU-FS-1050 SPX

50

98

5

±10

5

AU-FS-1020 PX

20

49

10

±20

10-

AU-FS - 1040 PX

40

49

10

±20

10-

AU-FS - 1050 PX

50

98

10

±20

10-

AU-FS-1100 PX

100

98

10

±20

10-

AU-FS-3150PX

150

98

10

±20

10-

AU-FS-3200 PX

200

196

10

±20

20

亞微米精度電控位移臺參數:

型號

行程(mm

最大負載(N)

分辨率(nm)

重復定位精度(nm)

最大移動速度(mm/s)

FC-411

FC-111

FC-411

FC-111

FS-1020X

20

49

50

100

±100

±200

10

FS-1040X

40

49

50

100

±100

±200

10

FS-1050X

50

98

50

100

±100

±200

10

FS-1100X

100

98

50

100

±100

±200

10

FS-3150X

150

98

50

100

±100

±200

10

FS-3200X

200

196

50

100

±100

±200

10



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