APCO精密劃片機(jī)簡介：

日本APCO公司精密劃片機(jī)系列，型號(hào)包括AMC－7600,，7800,，8000。適用于TEM（透射電鏡）和SEM（掃描電鏡）等的樣品制備工作,，廣泛應(yīng)用于硅片,、光掩膜、液晶顯示器用TFT,、石英,、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。劃片精度±15微米，適用于大達(dá)8英寸,，厚度0.6至10毫米樣品,，可確保獲得光滑的橫斷面以便于進(jìn)一步觀察。具有CPU控制,，操作簡便,，制備速度快，可以刻劃平坦或彎曲的樣品,。目前,，包括東芝、索尼,、愛普生,、IBM、菲利普,、NEC等許多國際半導(dǎo)體制造商都在使用APCO的產(chǎn)品,。

APCO AMC-8000：

AMC-8000是AMC-7600、8000的改進(jìn)型,，主要是提高了劃線精度,。

光學(xué)顯微鏡采用美國著名的NAVITAR公司的伸縮鏡頭顯微鏡，通過CCD攝像機(jī)定位,。

也可選用伸縮和微聚焦的電機(jī)驅(qū)動(dòng)式,。

其他規(guī)格與AMC-7600相同。

《AMC-8000簡要規(guī)格》

1. 適用材料：石英,、硅片,、玻璃、掩膜片,、TFT基板,、顯象管、等離子體顯示器等

2. 平面,、曲面（CRT熒光面等）均可切劃

3. 適用材料尺寸：大8”英寸

4. 劃線精度：±2.5um

5. 大顯示倍率：約800倍（在20寸CRT上）

6. 外形尺寸：650W×550D×650H（（不含CRT等）

7. 重量：約78Kg（不含CRT等）

APCO精密劃片機(jī)主要特點(diǎn)：

1. 操作簡單,，自動(dòng)劃線準(zhǔn)確，可間隔劃線5處

2. 平面,、曲面皆可劃線,，切線整齊，獲

3. 劃刀壓力可自由設(shè)定,，從2N～60N

4. 刀片壽命可達(dá)1年以上

5. 帶報(bào)警裝置，工作不正常時(shí)會(huì)報(bào)警

6. 適用于石英,、硅片,、研磨片、玻璃、TFT基板,、顯象管,、等離子體顯示器等

APCO AMC-8000參數(shù)規(guī)格：

1．適用材料尺寸：8英寸    10mmt
2．工作臺(tái)移動(dòng)距離：X＝50mm  Y＝230mm  θ＝360度
3．劃線精度：±15um
4．光學(xué)系統(tǒng)：單筒收縮顯微鏡  實(shí)體顯微鏡
5．監(jiān)測：CCD＋14～20英寸彩顯
6．顯示倍率：22～800倍
APCO AMC-8000切割壓力設(shè)定實(shí)例：

石英    8.85mmt           約45N
石英    3.00              約30N
石英    2.30              約25N
玻璃    10mm（14”CRT）   約55N
玻璃    0.8mm             約12N
Si      0.7mm             約5N
顯象管  10mm
硅片（Si、InP）
APCO AMC-8000切成片實(shí)例：

6025石英掩膜→6.35mm×約5mm×約5mm
1.2mmt玻璃  →1.2mm×約5mm×約50mm
0.7mmt硅片  →0.7mm×約4mm×約4mm
3mmt InP片  →0.3mm×約0.5mm×約5mm

APCO AMC-8000刀壓設(shè)定很容易

刀壓由旋鈕自由設(shè)定,。對(duì)一種試樣,，可改變幾次設(shè)定值試劃，便可得到合適的刀壓,。以合適刀壓劃線后,，用附屬的切斷鉗很容易切斷。
APCO AMC-8000劃線設(shè)定簡單

只要將劃線端點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)OM表針中心位置,，按壓設(shè)定指令按鈕即可,，此位置即為劃線起點(diǎn)或終點(diǎn)。
大設(shè)定12點(diǎn)（間隔劃線大可設(shè)定5點(diǎn)）設(shè)定后,，裝置即自動(dòng)劃片,。
APCO AMC-8000劃刀壽命長（1年以上）的理由：

采用超硬刀輪，旋轉(zhuǎn)劃片,，不易磨損,。

超硬刀輪的行走方向由工作臺(tái)的行走方向調(diào)節(jié)。

帶有聲響警告裝置,，在下列情況下裝置警告且不工作,。

當(dāng)工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)鎖定未卡好時(shí)。

設(shè)定位置不當(dāng)時(shí),。

設(shè)定次數(shù)與要?jiǎng)澗€次數(shù)不符合時(shí),。

安全保證。

漏電切斷,，無熔線斷路器,。

APCO AMC-8000補(bǔ)充說明：
本機(jī)不是大批量生產(chǎn)用的，而是在使用SEM觀察各種半導(dǎo)體硅片,、各種玻璃材料等不良部位及試制品合格與否時(shí),，為其制作試樣用的機(jī)器。使用該機(jī)的主要時(shí)研究開發(fā)部門,、品質(zhì)管理部門,、分析/解析部門。
本機(jī)的特點(diǎn)及剖面SEM試樣的加工工藝如下：
一．特點(diǎn)

制作試樣無需研磨,，一般制作試樣時(shí)時(shí)先將試樣埋入樹脂后,，而研磨而制成的，故制作一個(gè)試樣需要花幾個(gè)小時(shí),，本機(jī)則只需要15分鐘左右,。

采用*的跳躍間隔劃線方式,，不會(huì)傷及觀察部分（試樣表面）。

使用顯微鏡,，能很容易輸入劃線加工部分的坐標(biāo)位置,。

提高了X軸方向的分辨率，以便能從要觀察的部分切斷,。

二．加工工藝過程：

先在要觀察的微小部位的前后表面劃線,，以便之后切斷。

用夾鉗夾住試樣,，切斷,。

三．劃線精度：
AMC-7600     ±15um
AMC-7800     ±15um
AMC-8000     ±2.5um
四．劃線寬度由試樣和劃線加工條件而異，約為數(shù)100 um,。
五．大5點(diǎn)跳躍間隔劃線,，如后圖所示，用顯微鏡觀察試樣表面時(shí),，如果觀察部分遭到破壞,，便無法觀察，本機(jī)可預(yù)先設(shè)定好劃線坐標(biāo)位置,，自動(dòng)地跳過要觀察的部位,，這樣便不會(huì)劃傷要觀察的部位了。而且一次劃線可取得5個(gè)要觀察的位置,。但條件是硅片等結(jié)晶材料,，其觀察部位要沿結(jié)晶方向在一條直線上。
六．劃刀價(jià)格：15000－30000日元,。（屬日本國內(nèi)價(jià)格,，且?guī)У都埽?br />七．劃刀壽命：以加工硅片為例，每年需換2－3次刀,。
八．的使用方法：

將劃過線的試樣裝在機(jī)子上,；

旋轉(zhuǎn)沖壓旋鈕輕輕固定；

將試樣劃線與懸臂前端中心線對(duì)齊,；

慢慢旋動(dòng)沖壓旋鈕,，將試樣切斷。