特    征:  

• 清洗方式：沉浸式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性,；遠程等離子體可以輕微的清除表面污染,，如SEM、TEM樣品清洗,；脈沖放電后產(chǎn)生等離子體的平均功率小于0.5watt,，可以處理極精致樣品。            

• 操作方法：自動配方執(zhí)行,；自動作業(yè)順序執(zhí)行,；亦可手動操作。            

• 等離子傳感器：雙等離子強度傳感器（申請中）監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠程等離子源,。等離子強度實時顯示在LCD觸摸屏上,。            

• *工藝控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器,、MFC氣體流量計,、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配,。            

• 腔體材料：鋁法蘭,，石英腔體

• 石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm,；外徑120mm；深度280mm            

• 樣品架：2mm厚高純度石英板            

• 射頻天線：外部射頻電極和天線設(shè)計減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題,。            

• 射頻功率：13.56mhz高頻射頻電源,，自動原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt,。13.56MHz的射頻電源產(chǎn)生比兆聲電源產(chǎn)生高濃度等離子體,。            

• 工藝氣路：高達三個質(zhì)量流量控制氣體輸入（0 ~ 100sccm）。一個額外的排氣口,。?英寸世偉洛克壓縮接頭連接器,。            

• 用戶界面：7寸電阻式觸摸屏，觸摸的手指,，沒有手寫筆的要求,。            

• 軟件：總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個清理步驟,。

典型的應(yīng)用：  

• 引線鍵合倒裝芯片底部填充,，器件的封裝和解封            

• 光刻膠灰化、除渣,、硅片清洗            

• PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗

• 去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳氫污染物

• 改善金屬與金屬或復合材料的結(jié)合           

• 改善塑料,、聚合物和復合材料的粘接