API美國*激光干涉儀

 激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至標(biāo)準(zhǔn),，是迄今*的高精度,、高靈敏度的測(cè)量儀器,，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。 
    激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)zui高4m/s的測(cè)量速度,，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?br />    激光干涉儀具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快,、zui高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

API美國*激光干涉儀

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡,，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）,。若光程差沒有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。 
    若光程差有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量兩個(gè)光程之間的差異變化,。

激光具有高強(qiáng)度,、高度方向性、空間同調(diào)性,、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn),。目前常用來測(cè)量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主,，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡,、反射鏡等來作線性位置,、速度、角度,、真平度,、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作,，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量儀器的校正工作,。

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