PTL-普特勒真空低溫等離子技術(shù)

    PTL真空等離子系統(tǒng)致力于為航空航天、汽車工業(yè),、半導(dǎo)體制造、紡織技術(shù),、電子微電子,、生物工程、醫(yī)學(xué)醫(yī)療,、塑料橡膠,、科研開發(fā)等行業(yè)客戶提供解決方案，以幫助客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量,、提升生產(chǎn)效率,，同時降低對環(huán)境的不良影響。
     PTL等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備,。采用集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz,、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用前沿技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。

PDMS鍵合小型真空等離子清洗機(jī)

PTL真空等離子表面處理系統(tǒng)的特點：

等離子清洗機(jī)清洗效果好,，效率高,，應(yīng)用范圍廣。

對清洗樣品,，沒有任何材質(zhì),、外觀尺寸等要求

等離子清洗過程中，溫升很小,，基本可達(dá)到常溫處理,。

射頻功率無極連續(xù)可調(diào)。

高效的特制電極,，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證,。

特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間,，使處理效率zui大化,，同時也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

*的過載,、短路和過熱保護(hù)電路,，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。

設(shè)備整體模塊化設(shè)計,，安裝與維護(hù)極為簡單,。

PDMS鍵合小型真空等離子清洗機(jī)

  PTL真空等離子系統(tǒng)構(gòu)成

    PTL系列低壓等離子清洗系統(tǒng)由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統(tǒng),、充氣系統(tǒng),、自動控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空達(dá)到30-50Pa 的真空度,，再在高頻發(fā)生器交變電場的作用下,，將氣體進(jìn)行電離，形成等離子體（物質(zhì)第四態(tài)）,，其顯著的特點是高均勻性輝光放電,，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫,?；钚缘入x子對被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),，經(jīng)過抽真空排出,，從而達(dá)到清洗目的，并且得到了表面親水性,、拒水性,、低摩擦,、高度清潔、激活,、蝕刻等各種表面改性 ,。

  PTL真空等離子工藝的工藝范疇

    PTL真空等離子系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕,、灰化,、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在電子,、LED,、太陽能光伏、集成電路,、生命科學(xué),、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝,、芯片制造,、MEMS器件等領(lǐng)域。其配件均選用其行業(yè)的產(chǎn)品,，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定,。