ZPT-F-Y科研氣浮隔振光學平臺

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ZPT-F-Y科研氣浮隔振光學平臺

應用領(lǐng)域：

適合于高倍數(shù)電子顯微鏡,、掃描探針顯微鏡,、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應用

產(chǎn)品特點：

■中航世紀隔振公司研發(fā)制造的具有負載能力強,、剛性強,、穩(wěn)定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺,。

■優(yōu)異的隔振性能：內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),，具備優(yōu)秀的固有頻率，對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,，避免外界振動干擾設備儀器精度,，提高儀器設備使用精度和使用效率。
■自動調(diào)節(jié)水平功能：放置負載的位置發(fā)生變化,，平臺迅速通過高精度閥門自動調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓,，自動保持水平。氣動元器件全部執(zhí)行德國FESTO產(chǎn)品,，標配進口無油壓縮機,。

■臺板采用蜂窩芯夾板結(jié)構(gòu),具有重量輕、高剛度,、高阻尼等優(yōu)點,，上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導磁不銹鋼，經(jīng)精密研磨處理,，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊,，達到無反射,、亞光效果，面板具有M6螺孔陣列,，易于固定光學元件,。
■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成，整體堅固穩(wěn)定,。
■工作壓力為0.35～0.6Mpa,，標準配置調(diào)壓過濾閥將保證空氣彈簧的*有效工作，用戶只需要將氣管連接進氣口,，就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能,，氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用,。

技術(shù)指標：

■平面度：< 0.05mm/m2
■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有頻率,；x方向：1.0Hz～1.5Hz  y方向：1.0Hz～1.5Hz

■減振效率：x方向＜5Hz時：88%～94%    y方向＜5Hz時：86%～92%

                x方向＜10Hz時：92%～98%  y方向＜10Hz時：90%～95%

■振幅：< 1μm
■荷載能力：800kg/m2

■重復定位精度：±0.05mm

產(chǎn)品型號：（接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)） 

臺面細節(jié)圖

精密研磨處理

表面平整精度

內(nèi)部蜂窩結(jié)構(gòu)

應用案例

裝備地點：香港理工大學生物醫(yī)學工程跨領(lǐng)域?qū)W部       產(chǎn)品規(guī)格：3000*1500*800mm