復(fù)合導(dǎo)電材料高溫四探針測試機Huace-600

   復(fù)合導(dǎo)電材料高溫四探針測試機Huace-600概述：  

●Huace-600高溫四探針測量系統(tǒng),，該系統(tǒng)可以測量硅,、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率,、測定硅外延層,、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻，該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法標準設(shè)計的,。

●采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統(tǒng),，滿足半導(dǎo)體及導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求，通以在高溫 ,、真空,、氣氛的條件下測量導(dǎo)電材料電阻和電阻率，可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度,、 時間變化的曲 線． 目前主要針對圓片,、方塊、長條等樣品進行測試,，可以廣泛用于碳系導(dǎo)電材料,、 金屬系導(dǎo)電材料、 金屬氧化物系導(dǎo)電材料,、結(jié) 構(gòu)型高分子導(dǎo)電材料,、復(fù)合導(dǎo)電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻,，電阻率,，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線。

儀器特點：

1,、可以測量高溫,、真空,、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；

2,、軟件,、觸摸屏、高溫爐等集成于一體,，可以進行可視化操作,；

3、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量,；同時保證探針在高溫下不氧化,；

4、采用labview軟件開發(fā),，操控性,、兼容性好、方便升級,；

5,、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象,；

6,、控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度,；

7,、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表；

特點：

● 多級循環(huán)溫度采集技術(shù)： 設(shè)備采用PID算法,，以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值,。控溫和測溫采用同一個傳感器,，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.

● 雙系統(tǒng)互鎖技術(shù)及隔離屏蔽技術(shù)： 本設(shè)備不僅具備過壓,、過流保護系統(tǒng)，它雙系統(tǒng)互鎖機制,，當(dāng)任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時,，將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 ,，以及電流抗干擾的屏蔽,。

● SPWM電子升壓技術(shù) 目前設(shè)備大都采用SPWM電子升壓技術(shù)，這一技術(shù)具有升壓速度平穩(wěn),，精度高,。便于維護等優(yōu)點是調(diào)壓器。