硅片搬送機 AL120精密的靈活性
傳輸各種尺寸的硅片
    基于硅片的尺寸,，AL120系列有3種基本機型，單200mm（AL120-L8）,、150mm和200mm兼容（AL120-L86）,、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進行顯微鏡檢查而設(shè)計,。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片,。
可以傳輸超薄的硅片，zui薄到90um
    為了應(yīng)對更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片,，奧林巴斯特殊設(shè)計了傳輸手臂,，可以應(yīng)對25片裝的200mm的片盒以及zui薄到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查,?？赏ㄟ^面板zui多可預(yù)設(shè)10種不同厚度的硅片信息。

硅片搬送機 AL120精密的能力
增強宏觀檢查的功能
    款的具備宏觀檢查功能的機臺（LMB型）具有360度自動旋轉(zhuǎn)而完成硅片的全面宏觀檢查,。這一設(shè)計可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒,。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進行宏觀檢查,。

LCD顯示屏提供精度和操作方便性
    LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受,，使得檢查項目和次序一清二楚，以及安裝調(diào)試所需要設(shè)置的參數(shù)也一目了然,。檢查結(jié)果,、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧,。

精密的可靠性
對于硅片的安全性
    AL120采用的兩種硅片檢測方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置,。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺的安全性,。
強大和可靠的顯微鏡
    奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場,、暗場、微分干涉,、紅外和深紫外,，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動物鏡轉(zhuǎn)盤,，與顯微鏡主機的孔徑光瀾具有聯(lián)動功能,，每一次物鏡的切換,，孔徑光瀾也會自動變換。
SEMI S2/S8 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
    AL120設(shè)計不單只重視傳輸中的硅片的安全,，也保證操作者的安全,，*符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn)，同時也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn),。