英?？蹈墒胶鈾z漏儀 INFICON UL1000Fab,、UL5000：

英福康干式氦氣檢漏儀 INFICON UL1000 Fab：

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界,，檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求,。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng),。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的*的泄漏率低達(dá)<5x10-12 atm cc/s,。軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱,，因為 UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件,，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速,、精確的測試,，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883,，方法 1014）,。

英福康干式氦氣檢漏儀 INFICON UL1000Fab,、UL5000：

英?？蹈墒胶鈾z漏儀 INFICON UL5000：

檢漏過程中可定義速度和精度

INFICON UL5000 氦氣檢漏儀設(shè)計用于滿足***關(guān)鍵和***苛刻的檢漏應(yīng)用。通過在經(jīng)現(xiàn)場驗證的真空設(shè)計中采用 INFICON 軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S,，UL5000 提供測試靈活性,、高靈敏度和快速、精確的測量結(jié)果,，使得所有檢漏應(yīng)用更迅速,、容易。

 該 UL5000 在所有測量范圍中提供快速響應(yīng)時間，并提供極短的周期時間以達(dá)到測試條件和***終結(jié)果,。特別設(shè)計的真空結(jié)構(gòu)提供持續(xù),、較高的氦氣抽氣能力及極快的響應(yīng)時間。

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功能：

• HYDRO-S（氫氣抑制）可確?？焖贊M足所有測試條件,。

• I-CAL（智能 - 泄漏率計算法）確保了在所有測量范圍中提供快速泄漏響應(yīng)。

• 特殊的多入口渦輪分子泵可提供優(yōu)化的較高氦氣抽氣能力及全壓力范圍內(nèi)的高氦氣壓縮比,，實現(xiàn)了靈敏度,、響應(yīng)度和快速清潔性。

• 增壓渦輪分子泵可對所有測試對象做出極快響應(yīng),，包括容量和腔室,。

• 經(jīng)現(xiàn)場驗證的 INFICON 扇形磁場質(zhì)譜儀多年以來的精確、可重復(fù)結(jié)果實現(xiàn)了*,、免維護(hù)的設(shè)計,。

• 自保護(hù)功能可防止 UL5000 受到氦氣和微粒的污染，自動吹掃循環(huán)可確保 UL5000 的隨時可用性,。

• 旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實現(xiàn)了操作靈活性,。

• 裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制可通過軟件激活，防止未*使用或測試設(shè)置的意外修改,。

• 通過電子郵件進(jìn)行的軟件更新可確保您的 UL5000 發(fā)揮性能,。

• 具有高度工作面的工作站設(shè)計以及 ESD 臺墊和工具箱實現(xiàn)了測試便利性。

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典型應(yīng)用：

• 半導(dǎo)體和平板顯示裝置上使用的測漏部件,、配件和大型腔室

• 檢漏半導(dǎo)體和平板工具

• 檢漏航空部件,、配件和系統(tǒng)

• 檢漏儲存容器/儲存罐