電容式IFM傳感器
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IFM電容式傳感器與電阻式,、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點(diǎn)：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小,，輸人能量也很低,。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個(gè)10-5 N)，因此所需輸入能量極小,，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題,，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度,、位移等,，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移,。

電容式IFM傳感器
(2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,， 又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微,。
(3)結(jié)構(gòu)簡單,，適應(yīng)性強(qiáng)，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作,。電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧,，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng) 磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進(jìn)行測量,。
(4)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,。由于極板間的靜電引力很小，可動(dòng)部分做得很小很薄,，因此其固有頻率很 高,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫的頻率下工作,，特別適合動(dòng)態(tài)測量,，如測量振動(dòng)、瞬時(shí)壓力等,。
(5)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測量,，具有平均效應(yīng)。例如非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心,、小型滾珠 軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測量時(shí),電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響,。
IFM電容式傳感器存在的不足之處如下：
(1)輸出阻抗高,，負(fù)載能力差。
(2)寄生電容影響大,。

IFM電容傳感器也屬于具有開關(guān)量輸出的位置傳感器,，是一種接近式開關(guān)。它的測量頭通常是構(gòu)成電容器的一個(gè)極板,，而另一個(gè)極板是待測物體的本身,。當(dāng)物體移向接近開關(guān)時(shí)，物體和接近開關(guān)的介電常數(shù)發(fā)生變化,，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化,。由此，便可控制開關(guān)的接通和關(guān)斷,。
IFM電容式傳感器詳細(xì)資料參數(shù)
介紹：用電測法測量非電學(xué)量時(shí),，首先必須將被測的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為電學(xué)量而后輸入之。通常把非電學(xué)量變換成電學(xué)量的元件稱為變換器,；根據(jù)不同非電學(xué)量的特點(diǎn)設(shè)計(jì)成的有關(guān)轉(zhuǎn)換裝置稱為傳感器,，而被測的力學(xué)量（如位移、力,、速度等）轉(zhuǎn)換成電容變化的傳感器稱為IFMIFM電容傳感器,。從能量轉(zhuǎn)換的角度而言，電容變換器為無源變換器,，需要將所測的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進(jìn)行放大和處理,。力學(xué)量中的線位移、角位移、間隔,、距離,、厚度、拉伸,、壓縮,、膨脹、變形等無不與長度有著密切的量,；這些量又都是通過長度或者長度比值進(jìn)行測量的量,，而其測量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,，在有些條件下,，這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢，而且變化范圍極小,，如果要求測量極小距離或位移時(shí)要有較高的分辨率,，其他傳感器很難做到實(shí)現(xiàn)高分辨率要求，在精密測量中所普遍使用的差動(dòng)變壓器傳感器的分辨率僅達(dá)到1～5 μm數(shù)量級,；而有一種電容測微儀,，他的分辨率為0.01 μm，比前者提高了兩個(gè)數(shù)量級,，zui大量程為100±5 μm,，因此他在精密小位移測量中受到青睞。