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OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐(CSS)OTF-1200X-RTP-II-5

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科晶集團(tuán)合肥科晶MTI江曉平

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,,是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī),、壓片機(jī),、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀,、低速外圓鋸,、金剛石線切割機(jī)、自動研磨,、拋光機(jī)),。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度,、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,,其中包括:箱式爐、氣氛爐,、管式爐,、井式爐、RTP快速升溫爐,、高溫高壓爐,、鍍膜機(jī),、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗室設(shè)備的*,,為科研工作者提供材料研究解決方案,。產(chǎn)品設(shè)計*、性能優(yōu)異,,質(zhì)量可靠,,性價比高,環(huán)保節(jié)能,、返修率低,,遠(yuǎn)銷到歐洲,美國,,日本,,德國等許多國家,廣泛應(yīng)用于物理,、化學(xué),、冶金、醫(yī)學(xué),、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本,、技術(shù)為導(dǎo),、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會發(fā)展做出貢獻(xiàn),。
 

真空管式爐,,高溫箱式爐,高速震動球磨機(jī),,RTP快速退火爐,,高溫高壓爐,涂覆機(jī),,電池制備設(shè)備等

OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐,,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門實(shí)際針對于熱蒸發(fā)或CSSClose Spaced Sublimation)鍍膜實(shí)驗,,其鍍膜面積可達(dá)到5"x5",。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),zui大升溫速率為20ºC/s ,。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),,可設(shè)置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導(dǎo)入到電腦中,。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結(jié)構(gòu)太陽能電池,這是一款理想的實(shí)驗工具.

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體

 

  • 采用兩個溫度控制器,,分別控制頂部和底部兩組加熱元件,。安裝有浮子流量計,可向真空腔體中通入氣體
  • 真空腔體為一高純的石英管,,其尺寸為:11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法蘭

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

  • 真空法蘭為316不銹鋼制作
  • 頂部法蘭上有一KF25接口,,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
  • 底部法蘭上有一KF25接口,,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
  • 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封,,通過機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr,,用分子泵其真空度可達(dá)到10-4torr

加熱元件和載樣臺

  • 由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部
  • 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié),,調(diào)節(jié)范圍為:2-50mm
  • 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率,,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中,(不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作)
  • 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作為載樣臺,,以達(dá)到較好的加熱均勻性
  • 底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料
  • 此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機(jī)(16L/m)
     

溫控系統(tǒng)

  • 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個加熱區(qū),,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
  • PC通訊接口,軟件可安裝,,可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
  • 控溫儀表操作視頻
  •   

工作溫度

  • zui高工作溫度為:800℃
  • 兩個加熱區(qū)之間的zui大溫差為300

加熱和冷卻速率

  • 加熱速率> 8ºC/s(每個溫區(qū)單獨(dú)加熱)
  • 冷卻速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

熱電偶

兩個K型熱電偶,,安裝在頂部和底部,都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作電壓

208 - 240VAC,, 單相,,(需要20A的空氣開關(guān))

功率

3000W

可選

  • 實(shí)驗時需要一個真空泵,可與本公司選購真空泵
  • 腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr
  • 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境,,可換購無油泵
  • 也可選購質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),,將實(shí)驗所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
  •   

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包括密封圈,、加熱元件和石英管)



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