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    德國EGE光柵尺是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置

EGE光柵尺,，也稱為EGE光柵尺位移傳感器（EGE光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置,。EGE光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,，具有檢測范圍大,，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn),。例如,，在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差,，以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用,。EGE光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵,。

EGE光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。圖1所示的就是EGE光柵尺的結(jié)構(gòu)。

光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,，它由光源,、會聚透鏡、指示光柵,、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成,。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭,、鏡像式讀數(shù)頭,、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）,。

莫爾條紋

以透射光柵為例,，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個EGE光柵尺刻面相對平行放置時,，在光源的照射下,，位于幾乎垂直的柵紋上,，形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋” (圖2所示),。嚴(yán)格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,，以W表示。

W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ ,。

莫爾條紋具有以下特征：

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對移過一個柵距,，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),，變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。

(2)放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下,，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω,、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,，θ的單位為rad,，W的單位為mm。由于傾角很小,，sinθ很小,，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad,，則上式可得W=1,，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,，例如每毫米100線的光柵,，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,，消除了由于柵距不均勻,、斷裂等造成的誤差。

檢測與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量,。高分辨率的EGE光柵尺一般造價較貴,，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,，需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,，EGE光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,，隨著光柵的移動,，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量,。

在一個莫爾條紋寬度內(nèi),，按照一定間隔放置4個光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,，柵線為50線對/mm的EGE光柵尺,，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖,，這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度,。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小,，又要檢測其方向,，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾,、直流分量和偶次諧波,，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端,，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2,，為得到判向和計數(shù)脈沖，需對這兩路信號進(jìn)行整形,，首先把它們整形為占空比為1：1的方波,。然后，通過對方波的相位進(jìn)行判別比較,，就可以得到EGE光柵尺的移動方向,。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù)，可以得到EGE光柵尺的位移和速度,。

EGE光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,，可安裝在機(jī)床的不同部位。

一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺（滑板）上,，隨機(jī)床走刀而動,，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方,。其安裝方式的選擇必須注意切屑,、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時,，則必須增加輔助密封裝置,。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機(jī)床靜止部件上,，此時輸出導(dǎo)線不移動易固定,，而尺身則應(yīng)安裝在相對機(jī)床運(yùn)動的部件上（如滑板）。

1,、EGE光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝EGE光柵尺傳感器時,，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上,。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對運(yùn)動的兩個部件上,。用千分表檢查機(jī)床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動的方向平行度,。千分表固定在床身上,，移動工作臺，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi),。如果不能達(dá)到這個要求,，則需設(shè)計加工一件EGE光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與EGE光柵尺尺身長度相等的基座（最好基座長出EGE光柵尺50mm左右）,。(2)該基座通過銑,、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi),。另外,，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm,。安裝時,，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與EGE光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,，讀數(shù)頭與EGE光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右,。

2、EGE光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺安裝面上,，但不要上緊,，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）,。用千分表測量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動方向的平行度,，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,，把M2螺釘上緊,。