MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法,、微分干涉法（DIC）,、熒光法、紅外線法和深紫外線法,，保證了的圖像分辨率和鮮明度,。

• 考慮了檢查效率的設(shè)計

• 鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系

• 軟件方案

• 支持缺陷檢測的多種功能

• 幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件

考慮了檢查效率的設(shè)計

主要操作集中配置在前面板上

前面板 
[1] 照明強(qiáng)度旋鈕 
[2] 物鏡倍率切換 
[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié) 

在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動,，用一個按鈕就可以操作,。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上,，從而提高了檢查速度,。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄,，只要輕動大拇指就可以操作,。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作,。

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒

傾斜鏡筒示意圖

為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度,，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話會浪費(fèi)時間，降低工作速度,。但是,，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒,，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢,，甚至可以站立檢查。此外,，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離,，可以在較大的平臺上輕松操作。

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內(nèi)置離合器的載物臺手柄

對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）,。另外,，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào),。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,，快速完成檢查。

鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系

多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能

物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法,、長工作距離,、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。

觀察影像實(shí)例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

半導(dǎo)體檢測顯微鏡熒光觀察

軟件方案

實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像

MX61L配備了PC界面,，可以讀取顯微鏡的電動功能。因此,，捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率,，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī),?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告,?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能,、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。

支持缺陷檢測的多種功能

快速切換物鏡,，提高檢查速度

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%,。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成,，提高了檢查速度,。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外,，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度,。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離,。

變換物鏡,，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)

AS自動調(diào)節(jié)示意圖

每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度,。MX61L對每個物鏡都可以設(shè)置觀察方法和AS（14級）,，只要切換物鏡就能以zui合適的對比度進(jìn)行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS,，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞,。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件

安全快速的搬運(yùn)晶圓

自動晶圓搬送機(jī)AL110（200 mm規(guī)格）組合

MX61L能與自動晶圓搬送機(jī)組合，組合后的尺寸也被設(shè)計得很小,。能夠無接觸,、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設(shè)置,。如果使用選件的遙控器,，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成,。

近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡,，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應(yīng)近紅外線的裝置備有各種型號,。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力,。

近紅外線觀察單元

粘合襯墊

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置,，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠,。

熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元

透射照明單元