PCE-3 PCE-3等離子清洗機
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PCE-3
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/11/5 13:40:24
- 訪問次數(shù) 1752
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 2萬-5萬 |
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PCE-3等離子清洗機的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體,，輸出功率6.8W,、10.5W、18W三檔可調,。本機主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等）,，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備,，在射頻電源的作用下，去除速率可達10nm/min,。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理,，將對生長具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機配有一個真空泵,，可對腔體進行抽真空,，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品的清洗,。
產(chǎn)品名稱 | PCE-3等離子清洗機 |
產(chǎn)品型號 | PCE-3 |
主要特點 | 1,、使用可調射頻電源， 可以設置低,、中,、高功率。 2,、桌上型設備,，結構緊湊、操作安 全,、環(huán)境友好,、低成本,。 |
技術參數(shù) | 1、輸入電壓：110V/220V,、50Hz/60Hz （請?zhí)崆斑x定）,，小于100W 2、輸出功率：13.56MHz 3,、等離子直流電源：低功率設定—680V,，10mA，6.8W,；中 功率設定—700V,，15mA,，10.5W,；高功率設定—720V，25mA,，18W 4,、等離子腔室：Ø75mm×165mm，耐熱玻璃,，前蓋可拆卸 5,、通入氣體：可通入多種氣體，如N2,、Ar,、空氣、混合氣體等,，主要根據(jù)處理材料性質所定 6,、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar）,，可選擇數(shù)字真空表,，針閥控制氣體流量，采用三通閥門快速控制進氣,、密封等離子腔室,、排氣
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清洗及蝕刻 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：200mm×250mm×210mm；重量：8kg（不含泵） |
注意事項 | 不能使用可燃性氣體 |
可選配件 | 本司研發(fā)的電阻真空計 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量,。 |
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