Mag digital 昆山蘇州無錫上海歐瑞康萊寶MAG digital 系列磁懸浮 分子泵
參考價 | ¥ 250000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 昆山熙日機械設備有限公司
- 品牌
- 型號 Mag digital
- 產地 德國
- 廠商性質 其他
- 更新時間 2015/6/14 14:08:02
- 訪問次數(shù) 1095
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歐瑞康萊寶的Mag digital系列磁懸浮分子泵的
主要技術特點:
抽速: 830l/s ~ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),,自平衡性能好全無油,,耐粉塵、抗氣流沖擊,。
轉子采用高強度鋁合金,,一次高速銑削成形,應力小,,強度高,,耐沖擊,高溫變形量小,,轉子葉片不易卷曲,、打碎;轉子長期運行溫度可高達120℃。
轉子及定片均采用萊寶技術的KAPLAR涂層
較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能,,適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體,;
降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量,降低轉子運行溫度,,有利于延長轉子壽命,;
葉片鍍KAPLAR的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
保護軸承為陶瓷軸承壽命長,,無需更換保護軸承,。
高真空端連接采用ISO-F,連接螺栓強度高,,充分保障安全,。
智能化電源,無需UPS,。
帶拖動級,,前級耐壓在2mbar以上。
分子泵運行溫度可調節(jié),,使其充分適應不同工藝制程,。
的數(shù)字控制技術
運行速度、溫度可設置,;
運行數(shù)據(jù)記錄存儲,,提供多達180條運行信息;
磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數(shù)字化控制,,信號處理速度快,,系統(tǒng)反應時間短
轉子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時,磁場補償反應時間短,;
在氣流長時間(2分鐘以上)過大,,而使泵負載過高,發(fā)熱量過大時,,泵速會快速自動調節(jié),,使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無識別性,,可互換,。
免維護。
典型應用:
所有半導體主要制程:刻蝕,、化學氣相沉淀及離子注入
科研領域
鍍膜
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