ALIO精密運動控制系統(tǒng)概述：

Alio創(chuàng)始于2001年,，我們的理念——不斷探索更好的方法來滿足納米級運動控制的需求。這個zui初的理念逐步擴展為一條產(chǎn)業(yè)鏈：六軸運動控制系統(tǒng),、氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng),、機械軸承系統(tǒng)、線性和旋轉(zhuǎn)納米級系統(tǒng),、高真空系統(tǒng),，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué),、印刷,、3D打印、光刻,、微納加工,、同步輻射加速器等領(lǐng)域。

ALIO 設(shè)計和生產(chǎn)的精密運動控制系統(tǒng)使納米水平的制造和研發(fā)成為可能,。

一,、線性運動系統(tǒng)

　　ALIO致力于納米精度運動的研究已超過10年。在這些年中,，ALIO的工程師們滿懷激情,，不斷開發(fā)產(chǎn)品、改進(jìn)生產(chǎn)技術(shù),，現(xiàn)已擁有“6-D Nano Precision?”和“True Nano?”的注冊商標(biāo),。在設(shè)計和制造中，ALIO采用了全新且*的技術(shù)和組件,，解決了傳統(tǒng)精密定位產(chǎn)品難以避免的一些問題,，產(chǎn)品已通過NIST（美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院）的檢測，達(dá)到可追溯的納米級精度,。

　　ALIO的線性平臺產(chǎn)品在內(nèi)擁有*的性能和可靠性,，僅僅使用機械導(dǎo)軌的平臺，其性能已達(dá)到競爭者使用氣浮導(dǎo)軌平臺的水平,。當(dāng)競爭者還在研究二自由度范圍的重復(fù)性和精度時,，ALIO已進(jìn)入六自由度納米精度的研究。

ALIO精密運動控制系統(tǒng)

　　ALIO旗下的所有線性平臺產(chǎn)品系列均擁有世界1流的性能,。為了適合不同的應(yīng)用,，可采用不同的配件組合，如馬達(dá),、編碼器以達(dá)到*性價比,。

1. 精密交叉滾柱導(dǎo)軌平臺的加工及裝配擁有ALIO設(shè)計。
2. ALIO XY線性系統(tǒng)具有不可比擬的六自由度的性能,。
3. 氣浮配重的音圈電機在垂直Z軸上的應(yīng)用,。
4. “6-D Nano Precision?”直線電機專為低成本需求設(shè)計。
5. 線性壓電馬達(dá),。

二,、Hybrid Hexapods混聯(lián)六自由度精密位移臺

　　六軸并聯(lián)設(shè)計zui初被用于游樂設(shè)施中，后來又在飛行員培訓(xùn)的飛行模擬器中使用,。經(jīng)過多年的發(fā)展,，PKM的技術(shù)不斷更新，延伸至微米精度制造,、實驗室運動控制需求以及產(chǎn)品檢驗等領(lǐng)域,。盡管現(xiàn)代許多公司叫賣可達(dá)納米級分辨率和重復(fù)精度，六自由度納米精度的真正突破是ALIO的6-D Nano Precision ?,。

　　六軸并聯(lián)臺有12個節(jié)點或屈曲分別在6個移動線性鏈接的末端,，有同軸及偏軸誤差。6個鏈接一旦整合到六軸并聯(lián)臺中,，即使插入正逆運動方程,，這個剛性問題也會導(dǎo)致整個系統(tǒng)的誤差增大。這所有的誤差都將不能使任何的六自由度位移臺成為True Nano ? 定位運動平臺,。路徑或直線運動在納米精度運動中是至關(guān)重要的,。因此，PKM在三軸并聯(lián)臺的研究中仍具有實際意義,。ALIO在過去的12年里設(shè)計并改進(jìn)六軸和三軸并聯(lián)臺,，重點在三軸并聯(lián)臺中安裝線性軸來提高六軸并聯(lián)臺的精度,。ALIO線性馬達(dá)三軸并聯(lián)臺具有低于10nm重復(fù)精度和100nm精度的無限分辨率。在XY線性運動系統(tǒng)上組裝成五軸或增加一個旋轉(zhuǎn)來組成完整的六自由度并聯(lián)精密位移臺,。ALIO混合六自由度并聯(lián)精密運動控制系統(tǒng)相較于傳統(tǒng)的六軸并聯(lián)臺在精度上具有明顯的提高,。

　　無論是從現(xiàn)在還是未來來看， 6-D Nano Precision?的產(chǎn)生和發(fā)展都是納米精度系統(tǒng)的自然過程,，ALIO混合六自由度精密運動控制系統(tǒng)通過正逆運動實現(xiàn)了簡單設(shè)計的類六軸運動系統(tǒng),，以G代碼編程來解決CAD-CAM的裝配問題。

　　ALIO混合六自由度精密運動平臺具有可擴展性,，可載物100公斤,，行程支持從5毫米到1米以上。不論產(chǎn)品尺寸大小,， 6-D 運動系統(tǒng)都優(yōu)于其他產(chǎn)品使之保持在一個精度范圍內(nèi),。該設(shè)計與制造的突出特點就是，即使增強工作結(jié)構(gòu)的體積或剛性強度,，都能使系統(tǒng)保持直線運動,。

　　總之，六軸并聯(lián)臺除了非常適合于處理6-D Nano Precision?的應(yīng)用,，仍有很多其他應(yīng)用領(lǐng)域,。ALIO混合并統(tǒng)將更好的服務(wù)于各項應(yīng)用，特別是True Nano?可用于剛性需求增強的平直度和平整度的機械加工和粘接,。

三,、并聯(lián)運動系統(tǒng)

　　ALIO擁有兩項并聯(lián)運動機器人的：1、三軸Tripod（美國號6769194）,；2,、六軸Hexapod（美國號6671975），該系統(tǒng)取得了革命性的突破,，能保證加工工藝和產(chǎn)品檢測達(dá)到納米精度,。

　　早在2001年，由ALIO設(shè)計制造的真納米Tripod和Hexapod機器人首度面世,，并取得,。多年以來，ALIO的Hexapod一直都是六軸機器人納米應(yīng)用的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn),。ALIO真納米Hexapod的運動速度高達(dá)250毫米/秒,，依然能保證虛擬編程的*中心點的定位精度達(dá)到納米級。該系列產(chǎn)品已奠定下一代自動化納米定位系統(tǒng)的基石,，可滿足諸多域諸如光電子,、封裝、測量測試,、微加工,、政府,、醫(yī)療和半導(dǎo)體制造等非常苛刻的應(yīng)用,。

四,、氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)

ALIO開發(fā)的*產(chǎn)品--6自由度納米定位氣浮導(dǎo)軌運動系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用在制造,、檢驗、維修和計量等領(lǐng)域,。ALIO的氣浮產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、航天、噴墨打印,、光刻,、光學(xué)檢測、光伏等領(lǐng)域,，擁有多項平面和Z軸方面的,。

　　ALIO旗下的納米精密平面氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)已將氣浮導(dǎo)軌運動的性能提升到一個全新的水準(zhǔn)，該系統(tǒng)的目的就是滿足和超越當(dāng)今半導(dǎo)體晶片,、平板顯示,、納米制造和光學(xué)檢測等領(lǐng)域?qū)芏ㄎ幌到y(tǒng)的苛刻要求。

五,、Z軸升降運動系統(tǒng)

傳統(tǒng)的Z軸楔垂直平臺,，至少包括復(fù)雜的彎角、3套導(dǎo)軌,、帶聯(lián)軸器和編碼器的電機這些結(jié)構(gòu)件,，每個組件都會增加整體誤差，嚴(yán)重影響系統(tǒng)整體的精確度,。

　　ALIO摒棄這種設(shè)計,，提供了一系列高精度、高重復(fù)性的垂直平臺,。

六,、旋轉(zhuǎn)運動系統(tǒng)

　　ALIO為滿足并超越當(dāng)今高精度旋轉(zhuǎn)運動的需求，ALIO開發(fā)了真納米精度旋轉(zhuǎn)平臺,。該產(chǎn)品線日漸豐富,，我們愿與廣大客戶合作，提供解決方案,，滿足客戶需求,。

七、真空運動系統(tǒng)

      在*科技行業(yè)中,，要求運動尺度越來越小已成為共同趨勢,，相應(yīng)地納米運動管理更加普及深入,。在眾多對定位敏感的行業(yè)，如光纖,、生物醫(yī)學(xué),、微型機械、電子,、半導(dǎo)體,、能源、光學(xué),、航空航天,、同步加速器等等，這種趨勢是很普遍的,。      在納米精度的真空平臺和機器人系統(tǒng)方面,，ALIO已積累豐富經(jīng)驗。除氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)外,，ALIO的其他產(chǎn)品均適用于超高真空環(huán)境,。用于高真空（10-7托）和超高真空（10-10托）環(huán)境的各種平臺和系統(tǒng)如線性、旋轉(zhuǎn),、中空XY,、Hexapod、Tripod和測角器等,，所有的超低出氣材料和部件都經(jīng)過精心準(zhǔn)備和烘烤,。

      納米定位應(yīng)用要求非常苛刻,，當(dāng)運動處于真空下,，或要求延長行程、重復(fù)性更精細(xì),、速度更高,、正常運行時間更長、成本更低時,，就更增加了復(fù)雜程度,。

　　要使各組件*而協(xié)調(diào)地一起工作以達(dá)到納米精度，在加工和選擇組件上的挑戰(zhàn)不容低估,。驅(qū)動機構(gòu),、導(dǎo)軌、反饋系統(tǒng),、運動控制器,、運動結(jié)構(gòu)和環(huán)境均需要設(shè)計完善，以滿足在大氣或真空環(huán)境的納米精度。真空環(huán)境下的挑戰(zhàn)會隨真空度,、定位性能,、出氣的不同而變化。

八,、定制運動系統(tǒng)

　　ALIO用企業(yè)的核心技術(shù)為OEM客戶提供定制化服務(wù),，令客戶顯著增效，同時也促進(jìn)了新納米精度應(yīng)用的推廣運用,。不僅如此,，ALIO不斷超越OEM客戶的需求，幫助客戶成為其行業(yè)*,。

　　將模型整合去滿足甚至超越客戶的*需求,，在此方面，ALIO有非常豐富的成功案例,，并*跟蹤服務(wù),。因此,，ALIO獲得眾多客戶的*青睞,。

　　一直以來，ALIO秉承誠實和正直的宗旨,，幫助客戶理解精密應(yīng)用的復(fù)雜性,。ALIO不只是局限于達(dá)到客戶其所想，更是將相關(guān)知識為客戶深入剖析,，促其升華,。