TH-20KW 多晶硅超聲波清洗機(jī)
- 公司名稱 濟(jì)寧天華超聲電子儀器有限公司
- 品牌 TIANHUA/天華
- 型號 TH-20KW
- 產(chǎn)地 濟(jì)寧
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/1/21 9:20:41
- 訪問次數(shù) 2178
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 出料粒度 | 0.01mm以下 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 1萬-5萬 | 樣品適用 | 多種樣品 |
儀器種類 | 珠磨機(jī) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,建材,電子,綜合 |
多晶硅超聲波清洗機(jī)產(chǎn)品介紹 1,、機(jī)械手或多機(jī)械手組合,實現(xiàn)工位工藝要求,。
2,、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利,。
3,、自動上下料臺,準(zhǔn)確上卸工件,。
4,、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),,工作干燥無水漬,。
5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),,確保良好工作環(huán)境,。
6,、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻,。
多晶硅超聲波清洗機(jī)技術(shù)參數(shù) 超聲波功率:10.2KW 超聲波頻率:40K/80KHZ 換能器數(shù)量:200個 電源電壓:三相五線380V應(yīng)用范圍 多晶硅超聲波清洗加工設(shè)備,,可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器 件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)備可有效去除晶片表面的 有機(jī)物,、顆粒,、金屬雜質(zhì),、自然氧化層及石英,、塑料等附件器 皿的污染物,且不破壞晶片表面特性,。 爐前(RCA)清洗:擴(kuò)散前清洗 光刻后清洗:除去光刻膠,。 氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物。 拋光后自動清洗:除去切,、磨,、拋的沾污。 外延前清洗:除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物,。 合 金前,、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣,。離子注入后的清洗:除去光刻膠,,SiO2層。擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗:除去預(yù)淀積時的BSG和PSG,。CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒,。附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。