PLASCALC-2000等離子監(jiān)控系統(tǒng)
- 公司名稱 北京征程創(chuàng)拓科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/14 10:07:49
- 訪問次數(shù) 3296
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PLASCALC-2000等離子監(jiān)控系統(tǒng)描述
PLASCALC-2000等離子監(jiān)控系統(tǒng)配有2048像元CCD高分辨率的光譜儀,，等離子體光輻射測量范圍為200-1100nm，PlasCalc-2000進(jìn)程控制系統(tǒng)精確可靠,，其精密的數(shù)據(jù)采集和控制算法格外具有優(yōu)勢,，對(duì)PC的模擬和數(shù)字輸入輸出功能也簡化了進(jìn)程控制過程。PlasCalc-2000及其軟件系統(tǒng)在數(shù)據(jù)采集和信號(hào)處理上非常方便,，波長,、測量模式編輯器可以迅速產(chǎn)生有效的測量模式及各種測量模式的組合，適合于控制系統(tǒng),。
PlasCalc-2000參數(shù)
200-1100nm光譜的范圍
1.0nm全高半寬分辨率
14位I/O D/A轉(zhuǎn)換
8個(gè)TTL數(shù)字I/O端口
4個(gè)0-10V模擬輸出端口
USB1.1接口
參數(shù)
多達(dá)6通道的寬帶光譜數(shù)據(jù)采集
每個(gè)通道都可以獨(dú)立配置光譜范圍
小于0.3nm的光學(xué)分辨率
16個(gè)TTL數(shù)字I/O端口
8個(gè)1-10V模擬輸出端口
USB2.0接口
應(yīng)用
通用過程監(jiān)控
表面清潔過程
保護(hù)膜
等離子體刻蝕
等離子室設(shè)備健康水平監(jiān)控
非常規(guī)過程處理
多晶硅平整化處理
新的加工過程優(yōu)化和監(jiān)控
采購中心
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