一、潔凈室之定義
潔凈室(Clean Room),，亦稱為無塵室或清凈室,。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室,，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn),。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾,、分配,、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間,。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性,。
潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,，此空間我們稱之為潔凈室,。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非*沒有一點灰塵,，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,，但是對于光學構(gòu)造而言,，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,，無塵是必然的要求,。
如表所示,，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*,。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別,。

二、潔凈室控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子,。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生,。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調(diào)節(jié),。
5. 有害氣體之排除,。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制,。
8. 電磁干擾預(yù)防,。
9. 安全因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量,。

三,、潔凈室之分類

1.亂流式(Turbulent Flow)：

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風,。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本,，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所,，可并用無塵工作臺,，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,，易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度,，往往須耗時相當長一段時間,。

2.層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率*之過濾器進入室內(nèi),，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100,。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出,，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外,，一般在下流側(cè)污染較嚴重,。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。
缺點：建造費用比亂流式高,，室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹,，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域,。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。
缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難,，天花板之吊架相當占空間,，維修更換過濾器較麻煩。

3.復(fù)合式(Mixed Type)：

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,，可提供局部超潔凈之空氣,。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域*覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用,。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式,。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易,； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,，將潔凈度等級提至100級以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度,，可節(jié)省能源,，不需人工的自動化生產(chǎn)線為zui適宜使用。藥品,、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用,。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用,；潔凈工作臺,、潔凈工作棚,、潔凈風柜即屬此類。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級,。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級,，高度在2.5米左右,，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪,，可為彈性運用,。