IRM100-MAN 瑞士Idonus 公司紅外顯微鏡
- 公司名稱 皕赫國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司LEMIS Process
- 品牌
- 型號(hào) IRM100-MAN
- 產(chǎn)地 瑞士
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2018/1/30 13:05:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 778
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瑞士Idonus 公司紅外顯微鏡
idonus紅外顯微鏡裝有長(zhǎng)工作距離的物鏡,三步變焦可以很容易選擇視野,。紅外傳感器鏡頭通過(guò)USB將圖像傳輸?shù)诫娔X,。在物鏡5倍的條件下,分辨率可以優(yōu)于3 μm,。另配有頂部光源,,既可以作為傳統(tǒng)模式使用,,又能進(jìn)行晶圓上面檢查。XY移動(dòng)臺(tái)可以zui大可以檢測(cè)8英寸以內(nèi)的晶圓,,移動(dòng)臺(tái)用一個(gè)操縱桿進(jìn)行全自動(dòng)控制,。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下,可以替換為精密的手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái),。
l: [email protected] www.bihec,。。com
主要產(chǎn)品:
紅外顯微鏡
IRM100-MAN
IRM-RLS
IRM-OBJ10
IRM-MC100-150
idonus紅外顯微鏡的特點(diǎn):
1,、背面紅外光源
2,、頂部光源
3、XY移動(dòng)臺(tái)zui大可檢測(cè)晶圓尺寸8英寸
4,、長(zhǎng)工作距離物鏡
5,、三步變焦
6、紅外傳感器鏡頭
7,、通過(guò)計(jì)算機(jī)查看
idonus紅外顯微鏡的應(yīng)用:
1,、釋放后的MEMS器件的檢查
2、填埋材料的蝕刻速率測(cè)試(如SOI晶圓)
3,、融熔接合的檢查
4,、硅晶圓/碎片的背面校準(zhǔn)
5、質(zhì)量控制
idonus紅外顯微鏡的優(yōu)點(diǎn):
1,、在較高的填充因子下的可靠的加工更小的MEMS圖案
2,、頂部和背部光源
3、高分辨率(5倍物鏡下分辨率優(yōu)于3 μm)
4,、更小的印跡
5,、操作簡(jiǎn)單,快速顯示結(jié)果
產(chǎn)品型號(hào):IRM 200-auto
可放置晶圓尺寸:200mm(8英寸)以內(nèi)
XY臺(tái)移動(dòng)距離:200 X 200 mm
XY臺(tái)移動(dòng)方式:通過(guò)操縱桿全自動(dòng)控制
產(chǎn)品型號(hào):IRM 100-man
可放置晶圓尺寸:100mm(4英寸)以內(nèi)
XY臺(tái)移動(dòng)距離:100 X 100 mm
XY臺(tái)移動(dòng)方式:手動(dòng)
其他參數(shù):
光學(xué)分辨率:5倍物鏡下分辨率優(yōu)于3 μm
工作距離:32mm
放大倍數(shù):2.5X , 5X , 10X (5倍物鏡下)
變焦:三步變焦0.5X , 1X , 2X
攝像頭:黑白,,USB接口輸出,,分辨率140萬(wàn)像素
紅外光源波長(zhǎng):1 μm
可選配件:2.5X,10X,20X物鏡;10mm,150mm晶圓適配環(huán),;圖像識(shí)別軟件
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