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1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè),。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī),、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀,、低速外圓鋸,、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨,、拋光機(jī)),。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度,、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,,其中包括:箱式爐、氣氛爐,、管式爐,、井式爐、RTP快速升溫爐,、高溫高壓爐,、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*,、性能優(yōu)異,,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,,環(huán)保節(jié)能,、返修率低,遠(yuǎn)銷(xiāo)到歐洲,,美國(guó),,日本,德國(guó)等許多國(guó)家,,廣泛應(yīng)用于物理,、化學(xué)、冶金,、醫(yī)學(xué),、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評(píng),。
 
  科晶公司秉承"以人為本,、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基,、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn),。
 

真空管式爐,,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),,RTP快速退火爐,,高溫高壓爐,涂覆機(jī),,電池制備設(shè)備等

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),,其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

技術(shù)參數(shù)

高溫爐殼體

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),,使得殼體表面溫度小于55
  • 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

2.5 KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,,使其zui大程度延長(zhǎng)使用壽命)

zui高工作溫度

1200

連續(xù)工作溫度

1100

zui快升溫速率

<= 20 

爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區(qū)長(zhǎng)度

400 mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

150  (+/-1 )

控溫系統(tǒng)

  • PID30段程序化控溫  
  • 控溫儀表操作視頻

控溫精度

+/- 1 

 

真空密封系統(tǒng)

 

 

 

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min

真空泵

采用雙旋機(jī)械泵,,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,,保護(hù)環(huán)境和人體健康,,過(guò)濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空顯示計(jì)

 

  • 美國(guó)進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上,,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr
  • 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換,。

混氣系統(tǒng)

  • 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)
  • 三路浮子量程分別為
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 內(nèi)部安裝有一混氣罐 

尺寸

  • 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重

60kg

運(yùn)輸重量

200

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管 ,、加熱元件和密封圈的損耗件)

 CE Certificate  



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