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瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

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瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

  • 類型:全金屬密封超高真空閥(Ultra-High Vacuum Valve)

  • 適用真空范圍

    • 標(biāo)準(zhǔn)版:10?? ~ 10?12 mbar

    • 定制版:可達(dá)10?13 mbar(特殊烘烤設(shè)計(jì))

  • 核心優(yōu)勢

    • 零泄漏:金屬密封漏率 <1×10?12 mbar·L/s(He檢漏),。

    • 耐高溫烘烤:閥體可承受 250°C~300°C 烘烤(標(biāo)準(zhǔn)版)/ 450°C(定制版)。

    • 無有機(jī)材料:全金屬結(jié)構(gòu),,避免放氣污染,。

2. 設(shè)計(jì)

  • 雙密封系統(tǒng):主密封(金屬刀口) + 次級(jí)密封(彈性補(bǔ)償)。

  • 低扭矩驅(qū)動(dòng):磁耦合或波紋管傳動(dòng),,避免軸封泄漏,。

  • 材料純度:316L不銹鋼(EP級(jí)電解拋光),表面粗糙度<0.8μm,。


二,、型號(hào)分類與技術(shù)參數(shù)

1. 型號(hào)命名規(guī)則(以VAT UHV 24為例)

代碼段含義
UHV系列名稱(超高真空閥)
24通徑尺寸(24=DN40,54=DN100)
后綴驅(qū)動(dòng)方式(如-M=手動(dòng),,-A=氣動(dòng))

2. 子型號(hào)對(duì)比表

型號(hào)通徑法蘭類型驅(qū)動(dòng)方式漏率烘烤溫度價(jià)格范圍(¥)
VAT UHV 24-ADN40CF-F氣動(dòng)<1×10?12 mbar·L/s250°C50,000~80,000
VAT UHV 54-MDN100ISO-K手動(dòng)<1×10?12 mbar·L/s300°C120,000~180,000
VAT UHV 10-EDN16ICF電動(dòng)<1×10?13 mbar·L/s450°C(定制)200,000+

3. 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)值/范圍
真空性能
- 漏率<1×10?12 mbar·L/s(He檢漏)
- 耐壓差10?12 mbar ~ 大氣壓
機(jī)械性能
- 閥體材質(zhì)316L不銹鋼(EP級(jí))
- 密封材質(zhì)銅/鋁鍍金或無氧銅
- 循環(huán)壽命>50,000次(金屬密封)
電氣/氣動(dòng)參數(shù)
- 驅(qū)動(dòng)方式氣動(dòng)(0.5~0.7MPa)/電動(dòng)(24V DC)
- 響應(yīng)時(shí)間氣動(dòng)版≤1s,,電動(dòng)版≤5s
環(huán)境適應(yīng)性
- 烘烤溫度標(biāo)準(zhǔn)250°C,定制450°C
- 耐腐蝕性兼容H?,、O?,、等離子體(需選配鍍層)

三、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造

  • 應(yīng)用

    • 刻蝕機(jī)/離子注入機(jī)的腔體隔離(防顆粒污染),。

    • 分子束外延(MBE)系統(tǒng)的超高真空維持,。

  • 型號(hào)推薦

    • VAT UHV 24-A(DN40,氣動(dòng)快速隔離),。

2. 科研裝置

  • 應(yīng)用

    • 同步輻射光源的束線控制,。

    • 核聚變裝置(如托卡馬克)的真空分段。

  • 型號(hào)推薦

    • VAT UHV 54-M(DN100,,手動(dòng)可靠密封),。

3. 航天與鍍膜

  • 應(yīng)用

    • 衛(wèi)星推進(jìn)劑儲(chǔ)罐的真空密封測試。

    • 光學(xué)鍍膜機(jī)的腔體壓力調(diào)節(jié),。

  • 型號(hào)推薦

    • VAT UHV 10-E(DN16,,電動(dòng)精密控制)。


四,、選型與安裝要點(diǎn)

1. 選型關(guān)鍵因素

  • 通徑需求:根據(jù)流量計(jì)算(如DN40對(duì)應(yīng)約20 L/s @10?? mbar),。

  • 驅(qū)動(dòng)方式

    • 氣動(dòng):快速開關(guān)(適合安全隔離),。

    • 電動(dòng):可集成自動(dòng)化控制(如PLC)。

  • 法蘭標(biāo)準(zhǔn)

    • CF法蘭:超高真空(金屬密封),。

    • ICF法蘭:極小漏率需求(如10?13 mbar),。

2. 安裝規(guī)范

  • 清潔要求

    • 安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面(戴無塵手套)。

  • 扭矩控制

    • CF法蘭螺栓需按對(duì)角線分步擰緊(DN40推薦8~10 Nm),。

  • 烘烤建議

    • 以10°C/min速率升溫至250°C,,保溫48小時(shí)。


五,、維護(hù)與故障處理

故障現(xiàn)象可能原因解決方案
漏率超標(biāo)密封面劃傷/顆粒污染重新拋光密封面或更換閥座
閥門卡滯高溫變形/潤滑不足使用高溫潤滑脂(如Apiezon N)
驅(qū)動(dòng)失效電磁閥故障(氣動(dòng)版)檢查氣源壓力(≥0.5MPa)

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門





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