瑞士VAT UHV系列超高真空閥門
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/7/10 13:28:16
- 訪問次數(shù) 1362
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT UHV系列超高真空閥門
一、UHV系列核心特性
1. 產(chǎn)品定位
類型:全金屬密封超高真空閥(Ultra-High Vacuum Valve)
適用真空范圍:
標(biāo)準(zhǔn)版:10?? ~ 10?12 mbar
定制版:可達(dá)10?13 mbar(特殊烘烤設(shè)計(jì))
核心優(yōu)勢:
零泄漏:金屬密封漏率 <1×10?12 mbar·L/s(He檢漏),。
耐高溫烘烤:閥體可承受 250°C~300°C 烘烤(標(biāo)準(zhǔn)版)/ 450°C(定制版)。
無有機(jī)材料:全金屬結(jié)構(gòu),,避免放氣污染,。
2. 設(shè)計(jì)
雙密封系統(tǒng):主密封(金屬刀口) + 次級(jí)密封(彈性補(bǔ)償)。
低扭矩驅(qū)動(dòng):磁耦合或波紋管傳動(dòng),,避免軸封泄漏,。
材料純度:316L不銹鋼(EP級(jí)電解拋光),表面粗糙度<0.8μm,。
二,、型號(hào)分類與技術(shù)參數(shù)
1. 型號(hào)命名規(guī)則(以VAT UHV 24為例)
代碼段 | 含義 |
---|---|
UHV | 系列名稱(超高真空閥) |
24 | 通徑尺寸(24=DN40,54=DN100) |
后綴 | 驅(qū)動(dòng)方式(如-M=手動(dòng),,-A=氣動(dòng)) |
2. 子型號(hào)對(duì)比表
型號(hào) | 通徑 | 法蘭類型 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 漏率 | 烘烤溫度 | 價(jià)格范圍(¥) |
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VAT UHV 24-A | DN40 | CF-F | 氣動(dòng) | <1×10?12 mbar·L/s | 250°C | 50,000~80,000 |
VAT UHV 54-M | DN100 | ISO-K | 手動(dòng) | <1×10?12 mbar·L/s | 300°C | 120,000~180,000 |
VAT UHV 10-E | DN16 | ICF | 電動(dòng) | <1×10?13 mbar·L/s | 450°C(定制) | 200,000+ |
3. 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 標(biāo)準(zhǔn)值/范圍 |
---|---|
真空性能 | |
- 漏率 | <1×10?12 mbar·L/s(He檢漏) |
- 耐壓差 | 10?12 mbar ~ 大氣壓 |
機(jī)械性能 | |
- 閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼(EP級(jí)) |
- 密封材質(zhì) | 銅/鋁鍍金或無氧銅 |
- 循環(huán)壽命 | >50,000次(金屬密封) |
電氣/氣動(dòng)參數(shù) | |
- 驅(qū)動(dòng)方式 | 氣動(dòng)(0.5~0.7MPa)/電動(dòng)(24V DC) |
- 響應(yīng)時(shí)間 | 氣動(dòng)版≤1s,,電動(dòng)版≤5s |
環(huán)境適應(yīng)性 | |
- 烘烤溫度 | 標(biāo)準(zhǔn)250°C,定制450°C |
- 耐腐蝕性 | 兼容H?,、O?,、等離子體(需選配鍍層) |
三、典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造
應(yīng)用:
刻蝕機(jī)/離子注入機(jī)的腔體隔離(防顆粒污染),。
分子束外延(MBE)系統(tǒng)的超高真空維持,。
型號(hào)推薦:
VAT UHV 24-A(DN40,氣動(dòng)快速隔離),。
2. 科研裝置
應(yīng)用:
同步輻射光源的束線控制,。
核聚變裝置(如托卡馬克)的真空分段。
型號(hào)推薦:
VAT UHV 54-M(DN100,,手動(dòng)可靠密封),。
3. 航天與鍍膜
應(yīng)用:
衛(wèi)星推進(jìn)劑儲(chǔ)罐的真空密封測試。
光學(xué)鍍膜機(jī)的腔體壓力調(diào)節(jié),。
型號(hào)推薦:
VAT UHV 10-E(DN16,,電動(dòng)精密控制)。
四,、選型與安裝要點(diǎn)
1. 選型關(guān)鍵因素
通徑需求:根據(jù)流量計(jì)算(如DN40對(duì)應(yīng)約20 L/s @10?? mbar),。
驅(qū)動(dòng)方式:
氣動(dòng):快速開關(guān)(適合安全隔離),。
電動(dòng):可集成自動(dòng)化控制(如PLC)。
法蘭標(biāo)準(zhǔn):
CF法蘭:超高真空(金屬密封),。
ICF法蘭:極小漏率需求(如10?13 mbar),。
2. 安裝規(guī)范
清潔要求:
安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面(戴無塵手套)。
扭矩控制:
CF法蘭螺栓需按對(duì)角線分步擰緊(DN40推薦8~10 Nm),。
烘烤建議:
以10°C/min速率升溫至250°C,,保溫48小時(shí)。
五,、維護(hù)與故障處理
故障現(xiàn)象 | 可能原因 | 解決方案 |
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漏率超標(biāo) | 密封面劃傷/顆粒污染 | 重新拋光密封面或更換閥座 |
閥門卡滯 | 高溫變形/潤滑不足 | 使用高溫潤滑脂(如Apiezon N) |
驅(qū)動(dòng)失效 | 電磁閥故障(氣動(dòng)版) | 檢查氣源壓力(≥0.5MPa) |
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