技術(shù)參數(shù)
X 軸 (驅(qū)動(dòng)部)
測量范圍: 25mm (SJ-401), 50mm (SJ-402)
測量速度: 0.05, 0.1, 0.5, 1.0mm/s
返回速度: 0.5, 1.0, 2.0mm/s
移動(dòng)方向: 向后
直線度: 0.3μm / 25mm (SJ-401),
0.5μm / 50mm (SJ-402)
定位: ±1.5° (傾角), 10mm (向上／向下)
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測頭選件時(shí),，
zui大可達(dá)2400μm)
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測力型)
導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
檢測方法: 差動(dòng)電感式
電源: 通過 AC 適配器／可充電鎳氫電池
電池壽命: zui多可測量600 次 (不帶打印)
充電時(shí)間: 15 個(gè)小時(shí)
數(shù)據(jù)輸出 通過RS-232C 端口／ SPC 輸出
尺寸(DxH)
控制器: 307 x 165 x 94mm
高度- 傾角調(diào)整裝置: 131 x 63 x 99mm
驅(qū)動(dòng)部: 128 x 36 x 47mm (SJ-401),
155 x 36 x 47mm (SJ-402)
重量
控制器: 大約1.2kg
高度- 傾角調(diào)整裝置: 大約0.4kg
驅(qū)動(dòng)部: 0.6kg (SJ-401), 0.7kg (SJ-402)