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晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)
- 公司名稱 珠海天蔚經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2017/5/4 17:15:28
- 訪問(wèn)次數(shù) 566
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)晶圓表面張力分析系統(tǒng)晶圓接觸角測(cè)量?jī)x12英寸晶圓表面分析
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接觸角測(cè)量?jī)x,,接觸角測(cè)定儀,,視頻接觸角測(cè)量?jī)x,視頻光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x,,動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量?jī)x,,浸涂機(jī),浸涂?jī)x,,浸漬提拉涂膜機(jī),,浸膠機(jī),等離子清洗機(jī),,等離子體表面處理儀,,等離子蝕刻系統(tǒng),,等離子灰化系統(tǒng),等離子光刻膠去膠系統(tǒng),,低溫等離子體滅菌系統(tǒng),,等離子表面活化處理系統(tǒng),醫(yī)療器械涂層
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng),、晶圓表面張力分析系統(tǒng)
視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng),、晶圓表面張力分析系統(tǒng)詳情:
奧普特TM系列視頻成像(VCA-Wafer) 適用于半導(dǎo)體晶圓(Wafer)工藝的質(zhì)量控制。該視頻成像(VCA-Wafer) 提供晶圓(Wafers)表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析,,從而評(píng)估粘性,,潔凈度及鍍膜。
奧普特TM系列視頻成像(VCA-Wafer) 采用輕量化的設(shè)計(jì),、組裝方便和的基于Windows™標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件,,以創(chuàng)建一個(gè)即精準(zhǔn)容又容易使用的接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng)。
視頻成像(VCA-Wafer) 的注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載,,消除了對(duì)晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞,。視頻成像(VCA-Wafer) 用于晶圓表面分析,同時(shí)也可用于其它需要測(cè)量較大體積樣件的分析應(yīng)用,。樣件zui大可允許 300 X 300 X 19mm,。
奧普特TM系列視頻成像(VCA-Wafer) 應(yīng)用 (包括但不限于):
• HMDS工藝的表面涂覆評(píng)估;
• 表面污染物檢測(cè),;
• 膠液&底漆制備,;
• 涂覆均勻性檢測(cè);
• 涂覆質(zhì)量評(píng)估,;
• 表面清潔度檢測(cè),;
• 研究粘附性、潤(rùn)濕特性,、粘接質(zhì)量,、表面處理和纖維、織物,、聚合物,、半導(dǎo)體晶片、硬盤(pán),、 平板顯示器和生物材料等表面涂層,。
• 吸收研究。
奧普特TM系列視頻成像(VCA-Wafer) 采用了高精度攝像鏡頭和*的PC技術(shù)捕捉滴液的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)圖像,,并確定用于觸角測(cè)量的基礎(chǔ)切線,。手動(dòng)或自動(dòng)注射器提供測(cè)試液體的簡(jiǎn)易滴膠方式。 電腦化操作消除了人為錯(cuò)誤的畫(huà)線并能捕捉動(dòng)態(tài)圖像對(duì)時(shí)間敏感的分析,。存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)和圖像用于后面的分析,,并且容易轉(zhuǎn)移到其他應(yīng)用軟件上,。
視頻成像(VCA-Wafer) 主要技術(shù)規(guī)格:
● 基本系統(tǒng):視頻成像(VCA-Wafer) 是一款手動(dòng)操作的接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng),可測(cè)量晶圓片(Wafers)zui大尺寸為300mm,。動(dòng)態(tài)圖像捕捉速率為60幀/秒,,視頻成像(VCA-Wafer) 除了具備表面能分析功能以外,該系統(tǒng)還能實(shí)現(xiàn)滴液表面張力的分析,。該接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng)配備電動(dòng),、可編程注射滴膠系統(tǒng)。視頻成像(VCA-Wafer) 也可在超凈間操作使用,。
• 高分辨率攝像系統(tǒng),,放大透鏡,高密度LED光源用于精密圖像捕捉
• 300mm可旋轉(zhuǎn)工作平臺(tái),,允許檢測(cè)晶圓各個(gè)方位
• 高配PC控制系統(tǒng),,配備高性能顯卡,用于高級(jí)圖像分析及視頻捕捉
• 高清平板顯示器,,用于圖像輸出顯示
● 視頻成像(VCA-Wafer) 軟件基本功能特性:
• 接觸角成像及計(jì)算的自動(dòng)化
• 動(dòng)態(tài)滴液捕捉(以錄像方式觀看滴液)
• 表面能(達(dá)因/厘米)分析功能
• 統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制
• 懸滴法表面分析功能
● SE-2500表面能(達(dá)因/厘米)軟件包:基于同樣基片上不同液體的接觸角,,計(jì)算基片的表面能(達(dá)因/厘米), 列表出同一基片上不同液體的接觸角,。并且用四中用戶可選的方法之一來(lái)自動(dòng)計(jì)算表面能,,即齊斯曼法(Zisman)、幾何平均數(shù)法(Geometric Mean,),, 調(diào)和平均數(shù)法(Harmonic Mean,),,酸堿法(Acid-Base)。
● 圖像分析工作站(IAW):專(zhuān)門(mén)配備PC格式化用于圖像分析,。
● Dynamic-2500軟件:
-> 基于Windows操作系統(tǒng)方便使用,,增強(qiáng)的多功能性和易與其他程序接口;
-> 時(shí)間間隔的圖像捕捉能力提供圖像捕捉及分析,,基于用戶定義的時(shí)間事件分析間隔,;
-> 多個(gè)圖像同事瀏覽功能;
-> 圖像滾動(dòng)&堆碼能力,;
-> 高速圖像捕捉可達(dá)60個(gè)圖像/秒,。
● AutoFAST成像軟件:自動(dòng)灰度分析成像系統(tǒng)捕捉實(shí)際液滴圖像和自動(dòng)計(jì)算接觸角,而無(wú)需人工干預(yù),。 接觸角切線和電腦生成的水滴形曲線 擬合同時(shí)顯示在視頻圖像上,便于用戶查看及分析,。
● PDAST(滴液表面張力分析)軟件:采取垂滴圖像分析方法,,通過(guò)視頻影像數(shù)字化和數(shù)字 曲線擬合,采用毛細(xì)拉普拉斯方程確定表面張力(或界面張力),。
● 微量注射器-三套
● 微量注射器針頭-五套
● SPC(統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制)軟件:在一個(gè)易于使用的圖表中自動(dòng)記錄接觸角,、液滴的高度,,寬度,體積和面積,。 即時(shí)顯示統(tǒng)計(jì)值平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差,,作為數(shù)據(jù)輸入。所有的數(shù)據(jù)都可被打印,, 保存和/或轉(zhuǎn)出進(jìn)一步分析或成像在其他 軟件程序之中,。
● DataView軟件:瀏覽接觸角度、寬度和高度,,潤(rùn)濕面積和體積的彩色圖表,。數(shù)據(jù)和圖表可以存儲(chǔ)、打印和編輯,。
● 電動(dòng)注射器組件:電腦控制自動(dòng)滴液分配系統(tǒng),,用于標(biāo)準(zhǔn)注射器。提供可重復(fù)用戶定義液體體積分配,。
●視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓(Wafer)樣件工作平臺(tái):
-> 圓形樣件平臺(tái)尺寸:直徑12英寸(304.80毫米),;
-> 可接納檢測(cè)晶圓片尺寸:4英寸、6英寸,、8英寸及12英寸,;
-> 光軸移動(dòng):6英寸手動(dòng)滑動(dòng)卡鎖;
-> 垂直于光軸運(yùn)動(dòng):6英寸撥動(dòng),;
-> 垂直移動(dòng)距離:2英寸波動(dòng),;
-> 工作平臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度:360度旋轉(zhuǎn),行星軸承支持手動(dòng)旋轉(zhuǎn),;
● 校準(zhǔn)網(wǎng)格
● 顯示器
● 電源220VAC
售后服務(wù):
- 視頻成像(VCA-Wafer) 抵達(dá)客戶處后,,產(chǎn)品工程師免費(fèi)指導(dǎo)設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)完成安裝調(diào)試;
2. 設(shè)備質(zhì)保期從安裝調(diào)試成功后開(kāi)始,;