化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>AS-Micro 法國(guó)ANNEALSYS 快速退火爐(RTP)
Annealsys的RTP快速熱處理,、小型MOCVD,Centrotherm的廢氣處理設(shè)備,F(xiàn)lowlink高純特氣閥門(mén)
低成本3-英寸快速熱處理設(shè)備,,適用于研發(fā)應(yīng)用
zui高到 1250℃, 250℃/s, 高真空性能
應(yīng)用:
•注入退火
•合金接觸
•快速熱氧化(RTO)
•快速熱氮化(RTN)
•致密化和結(jié)晶化
•硅化
•等等
主要特性:
•配有無(wú)聲風(fēng)扇冷卻的紅外線鹵素管燈退火爐
•配有水冷卻不銹鋼法蘭的石英管腔室
•快速PID溫度控制器
•熱電偶控制
•大氣和真空工藝性能
•配有針閥的吹掃氣路
•zui多3條氣路,,配有數(shù)字MFC
•配有以太網(wǎng)通訊的PC控制,用于快速數(shù)據(jù)記錄
•可選鍍有SiC石墨基片托,,用于2-英寸基片
•可選渦輪分子泵和壓力控制
•可選配雙腔室用于交叉污染問(wèn)題