高精度
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）,；2 nm（光學(xué)非接觸式）
· 對(duì)周?chē)h(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
· 沒(méi)有機(jī)械過(guò)濾
寬闊的垂直測(cè)量范圍
· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式
· 縱向掃描范圍 100mm
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
· 透明，不透明,，反射光強(qiáng)等多種材料
· 垂直臺(tái)階,，高寬深比，隆起,，孔洞
· 脆性的材料,，軟材料，柔性材料表面
· 尖銳的,，堅(jiān)硬的,，磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
· 白光光源，人體安全設(shè)計(jì),，長(zhǎng)壽命白光LED 免維護(hù),。可以用于各種環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室,，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,。
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的*結(jié)合
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm,。
· 在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察
· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級(jí)垂直分辨率　（zui?。?１nm ）
· 軟件設(shè)置恒定微力接觸（0.1 to 100 [mg]）

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