激光切割機(jī)加工過程中，有著兩種制造系統(tǒng),。這種非熱材料去除機(jī)制的一個(gè)重要特征就是,，因?yàn)樵诳涛g過的基材中存在zui小的能量沉積，所以基材的溫度增加也是zui小的,。通過測量發(fā)現(xiàn),，用傳統(tǒng)的納秒脈沖激光切割機(jī)中激光輻照見方的牙齒切片，切片的整體溫度上升了40℃以上,。而對(duì)于飛秒脈沖激光,，溫度上升不到2℃.這在實(shí)際的牙科應(yīng)用中是很重要的。我們知道,，牙齦神經(jīng)的溫度一旦超過正常體溫5℃以上時(shí)就會(huì)造成*性損害,。因此，采用納秒激光系統(tǒng)時(shí)就得對(duì)牙齒進(jìn)行冷卻,；而采用co2激光系統(tǒng)就不需要了,。在任何情況下，若將激光切割機(jī)中激光的能量通量都調(diào)節(jié)至每次脈沖能去除材料約深時(shí),，對(duì)于納秒脈沖其能量通量要求達(dá)到,；而對(duì)于飛秒脈沖則只需.

    總結(jié)出目前激光微制造系統(tǒng)包括兩大類的加工方式，一是掩?？s小投影方式,，二是直寫方式。    激光切割機(jī)加工效果赫然,，下面分析在熔融石英材料上面的效果,，給出的是單發(fā)脈沖加工熔融石英表面的一個(gè)例子。實(shí)驗(yàn)中,，為了證明在超短脈沖激光切割機(jī)加工的時(shí)間里材料本身的去除閾值,，所用脈沖的激光強(qiáng)度可任意調(diào)節(jié)。就是說,，只要激光切割機(jī)中激光的強(qiáng)度在這個(gè)閾值強(qiáng)度之上,，材料就能被去除。將脈沖寬度調(diào)節(jié)到1ns,，而其他的條件保持不變,，此時(shí)，熔融石英表面被打碎,。利用超短脈沖加工的非線性閾值特性,，再通過激光束強(qiáng)度的空間整形,，能實(shí)現(xiàn)一定形狀要求的切割和打孔，比如,，高深寬比的孔已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn),。實(shí)際上，深寬比和有形孔的生成還受宏觀介電材料波導(dǎo)特性的附加因子的支配,，這已超出本書的范圍,。

    超短脈沖激光切割機(jī)激光在加工過程中單脈沖的能量沉積量很低，為彌補(bǔ)這一缺陷,，人們采用高重復(fù)頻率的激光,，而且還不必對(duì)被加工材料部分進(jìn)行外部冷卻。雖然每次脈沖只能去除一個(gè)極小的深度但脈沖的高重復(fù)頻率能*地提高去除率,。例如,，對(duì)于激光切割機(jī)中激光強(qiáng)度超過損傷閾值、重復(fù)頻率為強(qiáng)度為的脈沖激光入射到熔融石英時(shí),，其溫度（a）和壓力（b）隨時(shí)間變化的計(jì)算結(jié)果,。可見峰值發(fā)生在lps處lkHz的脈沖,，每秒鐘的去除深度可超過在下一個(gè)脈沖到達(dá)之前,，膨脹的等離子體內(nèi)獲得的高溫能夠保證蒸發(fā)物質(zhì)*從加工面附近消除。例如,，蒸氣即使以這么低的速度膨脹,，在后（lkHz重復(fù)頻率）的下一個(gè)脈沖到來之前，已遠(yuǎn)離加工表面左右,。如采用傳統(tǒng)的納秒或微秒激光,，在脈沖期間蒸氣仍要產(chǎn)生。對(duì)于納秒激光,，因?yàn)槿肷涔鈺?huì)被蒸氣等羽輝物質(zhì)散射和吸收,，所以光與固體表面的耦合會(huì)減弱。