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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>其它干燥設備> 1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)

1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 天津中環(huán)電爐股份有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 天津市北辰北辰科技園區(qū)雙川道11號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/2/27 14:34:29
  • 訪問次數(shù) 5955

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天津中環(huán)電爐股份有限公司成立于1993年,,坐落于天津市北辰經(jīng)濟開發(fā)區(qū),公司是集研發(fā)、制造,、營銷于一體的生產(chǎn)制造型高新技術(shù)企業(yè),,以實驗室電爐、工業(yè)電爐及熱分析儀器為產(chǎn)品核心,,其中實驗室電爐280余種,,工業(yè)爐2大系列,熱分析類儀器30余種,。在科研院所,、各大高校和重點領(lǐng)域企業(yè)累計用戶上萬家。公司產(chǎn)品主要應用于金屬材料,、特種陶瓷,、復合材料、半導體,、納米材料,、碳纖維、石墨烯等新材料領(lǐng)域,。
2017年中環(huán)電爐成功登陸全國中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)(證券代碼:872594),。








接觸角測量儀,超快高溫燒結(jié)爐,馬弗爐,箱式電爐,管式爐,排膠爐,鐘罩爐,PECVD系統(tǒng),CVD系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,鋼鐵/金屬

產(chǎn)品用途

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,,而等離子體化學活性很強,,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜,。

PECVD系統(tǒng)配置,;

1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(單獨購買)

產(chǎn)品特性;

電源范圍廣;溫度范圍寬,;濺射區(qū)域長,;整管可調(diào);精致小巧,,性價比高,,可實現(xiàn)快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,,金屬薄膜,,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用,。

 

系統(tǒng)名稱

集成型PECVD系統(tǒng)

1200℃小型PECVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系統(tǒng)

手動

極限溫度

1200

加熱區(qū)長度

200mm

恒溫區(qū)長度

100mm

溫區(qū)

單溫區(qū)

石英管管徑

Φ60mm

Φ50mm

額定功率

1.2Kw

2Kw

額定電壓

220V

滑動方式及距離

自動滑動;200mm

手動滑動;200mm

溫度控制

30段程序控溫

50段程序控溫

控制精度

±1

爐管極限工作溫度

1200

氣路法蘭

采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接

排風冷卻裝置

的空氣隔熱技術(shù),結(jié)合熱感應技術(shù),,當爐體表面溫升到50℃時,,

排溫風扇將自動啟動,,使爐體表面快速降溫。

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(按鍵式)

氣路數(shù)量

2路(2-4路)

4路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

流量范圍

0-500sccm(標準毫升/分,,可選配)氮氣標定

精度

±1%F.S

響應時間

1sec

工作溫度(流量計)

20-120

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

進氣方式

采用防倒流設計

規(guī)格

中真空(集成型請單獨購買)

系統(tǒng)真空范圍

10Pa-100Pa

真空泵

雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,,抽氣速率4L/S(選配:其他抽速真空泵),出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,,功率0.55Kw

信號頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0W-500W

0W-100W

大反射功率

350W

30W

射頻輸出接口

50Ω,,N-type,temale

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

整機功率

70%

屏幕顯示

正方向功率,匹配器電容位置,,偏置電壓值

爐體外形尺寸

290×350×340mm

290×350×495mm

系統(tǒng)外形尺寸

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系統(tǒng)總重量

270Kg

 



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