主要特點(diǎn)

       波前曲率傳感器壓電驅(qū)動(dòng)微動(dòng)平臺(tái),，裝配CCD相機(jī)

       光束方向快速移動(dòng)

       臨近位置光束剖面/形貌分析

       波前推導(dǎo)CCD像素級(jí)分辨

       光束傳播參數(shù)分析（M2,、瑞利長(zhǎng)度、束腰直徑）

       Zernike分析畸變控制

       采用自我參考法

       無光束相干要求

       緊湊式設(shè)計(jì),，在線檢測(cè)

操作原理

波前曲率傳感器技術(shù)規(guī)格

       CCD相機(jī)USB3.0通訊

       空間分辨率<10um

       多種傳感器覆蓋光譜范圍：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

       實(shí)時(shí)波前分析

       測(cè)試依據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)

光束測(cè)試軟件

測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)