PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥(V70系列)
為了最小化顆粒生成和激活,,隔板上安裝了插入式O形圈密封,硫化密封件是一種選擇,。這是一種高度可靠且比標準O形圈密封更耐用的密封解決方案,,盡管標準O形圈密封也可作為選項提供。軸通過高耐用金屬焊接波紋管進行密封,。
在斷電情況下,,V70可以在關閉位置機械鎖定。 已經(jīng)在各種半導體,、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個苛刻應用中安裝使用,,V70系列已證明了其很好的可靠性。憑借其堅固的設計以及簡化和易于維護的特點,,V70系列在各個方面都令人信服,。
V70換向閥始終根據(jù)客戶規(guī)格定制。盡管如此,,四種基本設計類型是預定義的:兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)部或外部腔室閥座的插入類型,。
閥體材料選項包括鋁、硬陽極氧化,、鎳鍍層或不銹鋼,。閘門和蓋子密封件為FKM或FFKM。其他密封材料可根據(jù)要求提供,。
特征:
l半標準應用(半 E21-94 半 E24-92 半 E21.1-1296)
l低振動,。獲得認證的L形運動連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現(xiàn)更快的速度
l更平穩(wěn)的氣動執(zhí)行器
l機械鎖處于關閉位置
優(yōu)點:
l焊接波紋管執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器,以防止拆卸時螺栓脫落
應用:
l半導體加工
l等離子體蝕刻,、CVD,、濺射沉積
l太陽能電池板制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群真空系統(tǒng)
PRECESS普瑞賽思傳輸插入閥(V70系列)
技術參數(shù)