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半導(dǎo)體封裝材料4英寸真空探針臺帶顯微鏡

2025-03-10

產(chǎn)      地:
暫無
所在地區(qū):
北京北京市
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半導(dǎo)體封裝材料4英寸真空探針臺帶顯微鏡


半導(dǎo)體封裝材料4英寸真空探針臺帶顯微鏡


半導(dǎo)體封裝材料4英寸真空探針臺帶顯微鏡產(chǎn)品參數(shù):

腔體

型號:CGO-4

樣品臺尺寸4英寸

樣品固定:樣品固定

觀察窗口4英寸

真空度10-6 torr

探針臂接口:最多6個探針臂接口

其他接口:電信接口,、真空接口、光纖接口,、冷源接口

制冷方式:制冷機(jī)

控制方式:閉循環(huán)自動控制

溫度范圍:4.5K ~ 450K

溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移動行程:50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu):外置探針臂,,真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度:10μm / 1μm

光源:外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源

CCD200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

探針座

X-Y-Z 移動行程:X-Y-Z 移動行程

結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度:10μm / 1μm

探針夾具

線纜:同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度:10pA / 100fA / 10fA

固定探針:彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型:BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口

探針

射頻支持:DC-67GHZ

針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì):鎢鋼 / 鈹銅

真空組件:分子泵組 / 機(jī)械泵

冷源組件50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機(jī)

外形重量730mm×750mm×1265mm(長寬高)      約100kg


防震桌參數(shù):

阻尼隔振防震桌

隔振方式:高級復(fù)合材料隔振

材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸(長寬):可定制

平臺厚度50 / 100 / 200mm

固有頻率:6Hz - 8Hz

支撐腿:阻尼支撐腿

支撐腿數(shù)量:4/ 6

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐,、表面密迪紋處理,、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

半導(dǎo)體封裝材料4英寸真空探針臺帶顯微鏡









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