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SYSTEM八光產(chǎn)業(yè) 氮氣排氣管堵塞HOT-N2

2025-02-06

產(chǎn)      地:
日本
所在地區(qū):
廣東深圳市
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八光產(chǎn)業(yè) 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2

八光產(chǎn)業(yè) 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2



關于 HOT-N2 系統(tǒng)

HOT-N2 系統(tǒng)
HOT-N2 系統(tǒng)用于產(chǎn)生粉末和氣體副產(chǎn)品的半導體制造工藝,并改善排氣管堵塞,。

【特征】
  • 防止粉末和副產(chǎn)品的形成和積累:
    抑制管道中氧化物的形成,。

  • 由于減少了維護,,提高了設備生產(chǎn)率:
    預計會降低維護成本,。

  • 能夠進行大容量氮氣吹掃:
    防止爆炸危險,。


八光產(chǎn)業(yè) 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2

使用案例和功能

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連接到干泵的輸出側(cè)和洗滌器的入口側(cè)(排除裝置),。

【功能】
  • 稀釋:
    稀釋氣體,。

  • 轉(zhuǎn)移:
    通過將熱氮氣注入管道中并使副產(chǎn)物高速流動,轉(zhuǎn)移副產(chǎn)物并防止副產(chǎn)物在管道內(nèi)積聚,。

  • 熱能活化:

    通過注入熱氮氣加熱副產(chǎn)品,。

HOT N2 系統(tǒng)主要適用工藝

HOT N2 SYSTEM 使用例
  • 蝕刻

  • 化學氣相沉積

  • 物理氣相沉積  

  • 濃散等


*在某些低溫工藝中沒有必要使用HOT N2 SYSTEM。

使用 HOT N2 的效果

八光產(chǎn)業(yè) 并改善熱氮氣排氣管堵塞HOT-N2HOT N2 未使用 
HOT N2 使用

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