NL-UHV能夠在超真空中生成和沉積納米顆粒,,以在樣品上創(chuàng)建功能化表面。 可以通過(guò)精確控制納米顆粒的尺寸,、組成和結(jié)構(gòu)來(lái)定制納米顆粒涂層的特性,,從而實(shí)現(xiàn)定制化特性,。
NL-UHV儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上,。可以調(diào)整膜的密度,,并且涂層能夠很好地附著在樣品表面。 NL-UHV有多種配置可供選擇,,包括單個(gè)1英寸和2英寸源,,以及三重1英寸源NL-DX3,,后者允許單獨(dú)或作為合金沉積多達(dá)三種材料。 NL-QMS質(zhì)量過(guò)濾器提供了對(duì)納米顆粒沉積的高級(jí)控制,,允許實(shí)時(shí)按質(zhì)量或直徑掃描或過(guò)濾納米顆粒。 NL-QMS通過(guò)用戶友好的WindowsTM軟件操作,,為沉積過(guò)程提供了直觀的控制,。
介紹超真空-合金納米顆粒沉積 Nikalyte NL-UHV,,合金納米顆粒沉積儀器系列,能夠在超真空中將納米顆粒生成并沉積到您的樣品上,,以創(chuàng)建功能化表面。通過(guò)精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu),,可以定制納米顆粒涂層的特性,。
與化學(xué)技術(shù)不同,,NL-UHV系列儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上??梢哉{(diào)整膜的密度,且膜本身可以高度附著在樣品表面,。
Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀主要特點(diǎn):
可烘烤至 250°C(無(wú)需移除磁鐵)
高達(dá) 40% 的出色靶材利用率
用于磁性材料的標(biāo)準(zhǔn)和高強(qiáng)度磁體
平衡或不平衡磁體配置的選項(xiàng)
簡(jiǎn)單的卡口夾,便于直接安裝目標(biāo)
包括手動(dòng)或氣動(dòng)控制快門之間的選擇
可用的濺射靶尺寸:1 英寸,、2 英寸和 3 英寸
用戶友好的設(shè)計(jì),帶有易于更換的磁鐵
可定制的真空長(zhǎng)度
兼容 DC,、RF,、脈沖直流(單極或雙極)和 HiPIMS 電源
Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀規(guī)格
濺射源 | 1.0″ | 2.0″ | 3.0″ | |
安裝法蘭 (CF (O.D.) | 4.5 英寸 | 6.0 英寸 | 6.0 英寸 | |
114 毫米 | 152 毫米 | 152 毫米 | ||
NW63CF | NW100CF | NW100CF | ||
兼容 UHV | 是的,,可在高達(dá) 250°C 的溫度下烘烤(無(wú)需移除磁鐵) | |||
真空長(zhǎng)度 | 200 毫米或 300 毫米 – 可根據(jù)要求提供特殊長(zhǎng)度 | |||
源頭的真空直徑 | 45 毫米 | 72 毫米 | 93 毫米 | |
目標(biāo)大小 | 1.0 英寸(25 毫米) | 2.0 英寸(50 毫米) | 3.0 英寸(75 毫米) | |
目標(biāo)物厚度(使用標(biāo)準(zhǔn)磁鐵的非磁性目標(biāo)物) | 最大 3 毫米 | 最大 3 毫米 | 最大 3 毫米 | |
目標(biāo)物厚度(帶有強(qiáng)磁鐵的非磁性目標(biāo)物) | 不適用 | 最大 7 毫米 | 最大 7 毫米 | |
目標(biāo)物厚度(帶有強(qiáng)磁鐵的磁性目標(biāo)物) | 不可用 – | 最大 1 毫米 | 最大 2 毫米 | |
0.4mm,,帶標(biāo)準(zhǔn) | ||||
磁性元件 | ||||
磁鐵 | 對(duì)于磁性或非磁性材料,,平衡或不平衡,用戶可以輕松 | |||
更換 | ||||
電源 | 直流,、射頻,、脈沖直流(單極或雙極)、HiPIMS | |||
快門 | 一體式手動(dòng)或可選氣動(dòng)操作 | |||
冷卻 | 最小水流量為 1 I/min |
杭州雷邁科技有限公司
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