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Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀

2025-01-26

產(chǎn)      地:
暫無(wú)
所在地區(qū):
浙江杭州市
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NL-UHV能夠在超真空中生成和沉積納米顆粒,,以在樣品上創(chuàng)建功能化表面。 可以通過(guò)精確控制納米顆粒的尺寸,、組成和結(jié)構(gòu)來(lái)定制納米顆粒涂層的特性,,從而實(shí)現(xiàn)定制化特性,。

Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀

NL-UHV儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上,。可以調(diào)整膜的密度,,并且涂層能夠很好地附著在樣品表面。 NL-UHV有多種配置可供選擇,,包括單個(gè)1英寸和2英寸源,,以及三重1英寸源NL-DX3,,后者允許單獨(dú)或作為合金沉積多達(dá)三種材料。 NL-QMS質(zhì)量過(guò)濾器提供了對(duì)納米顆粒沉積的高級(jí)控制,,允許實(shí)時(shí)按質(zhì)量或直徑掃描或過(guò)濾納米顆粒。 NL-QMS通過(guò)用戶友好的WindowsTM軟件操作,,為沉積過(guò)程提供了直觀的控制,。


介紹超真空-合金納米顆粒沉積 Nikalyte NL-UHV,,合金納米顆粒沉積儀器系列,能夠在超真空中將納米顆粒生成并沉積到您的樣品上,,以創(chuàng)建功能化表面。通過(guò)精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu),,可以定制納米顆粒涂層的特性,。

與化學(xué)技術(shù)不同,,NL-UHV系列儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上??梢哉{(diào)整膜的密度,且膜本身可以高度附著在樣品表面,。


Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀主要特點(diǎn):

  • 可烘烤至 250°C(無(wú)需移除磁鐵)

  • 高達(dá) 40% 的出色靶材利用率

  • 用于磁性材料的標(biāo)準(zhǔn)和高強(qiáng)度磁體

  • 平衡或不平衡磁體配置的選項(xiàng)

  • 簡(jiǎn)單的卡口夾,便于直接安裝目標(biāo)

  • 包括手動(dòng)或氣動(dòng)控制快門之間的選擇

  • 可用的濺射靶尺寸:1 英寸,、2 英寸和 3 英寸

  • 用戶友好的設(shè)計(jì),帶有易于更換的磁鐵

  • 可定制的真空長(zhǎng)度

  • 兼容      DC,、RF,、脈沖直流(單極或雙極)和      HiPIMS 電源
         
         

Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀規(guī)格

濺射

1.0″

2.0″

3.0″


安裝法蘭 (CF O.D.

4.5 英寸

6.0 英寸

6.0 英寸


114 毫米

152   毫米

152   毫米


NW63CF

NW100CF

NW100CF


兼容 UHV

是的,,可在高達(dá) 250°C 的溫度下烘烤(無(wú)需移除磁鐵)


真空長(zhǎng)度

200 毫米或 300 毫米可根據(jù)要求提供特殊長(zhǎng)度


源頭的真空直徑

45 毫米

72 毫米

93 毫米


目標(biāo)大小

1.0 英寸(25 毫米)

2.0 英寸(50 毫米)

3.0 英寸(75 毫米)


目標(biāo)物厚度(使用標(biāo)準(zhǔn)磁鐵的非磁性目標(biāo)物)

最大 3 毫米

最大 3 毫米

最大 3 毫米



目標(biāo)物厚度(帶有強(qiáng)磁鐵的非磁性目標(biāo)物)

不適用

最大 7 毫米

最大 7 毫米



目標(biāo)物厚度(帶有強(qiáng)磁鐵的磁性目標(biāo)物)

不可用

最大 1 毫米

最大 2 毫米


0.4mm,,帶標(biāo)準(zhǔn)



磁性元件


磁鐵

對(duì)于磁性或非磁性材料,,平衡或不平衡,用戶可以輕松


更換


電源

直流,、射頻,、脈沖直流(單極或雙極)、HiPIMS


快門

一體式手動(dòng)或可選氣動(dòng)操作


冷卻

最小水流量為 1 I/min




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