進口HORIBA堀場多組分氣體混合裝置MU-3000

進口HORIBA堀場多組分氣體混合裝置MU-3000

濃度穩(wěn)定的氣體生成

質(zhì)量流量控制可生成濃度準確的混合氣體,，而不受供給壓力或環(huán)境溫度變化的影響,。

配備多氣體/多范圍功能模型質(zhì)量流量控制器,，支持多種氣體類型,，允許客戶改變氣體類型和流量范圍。

易于使用的

專用軟件可讓您輕松設(shè)置生成氣體的流量和氣體濃度,。

它具有編程功能,，因此您可以創(chuàng)建自己喜歡的食譜,。

兼容多種流量

兼容多種流量,，從微小流量（幾個 SCCM）到大流量,。

駕駛模式

手動：每條MFC線均可手動操作。

自動：根據(jù)預設(shè)配方（程序）進行操作,。

本地：從 PC 啟動配方/停止配方（可選擇暫停）

遠程：通過外部信號啟動配方/停止配方（可選擇暫停）

顯示功能

瞬時流量設(shè)定值/瞬時流量值/累計流量顯示/總發(fā)生流量值/總發(fā)生流量累計值

可以設(shè)定并顯示產(chǎn)生的氣體濃度值,。

電磁閥開/關(guān)狀態(tài)

配方運行狀態(tài)顯示（顯示各步驟的剩余步驟）

配方創(chuàng)建功能（程序功能）

每行最多可創(chuàng)建 50 個步驟的程序。

（包括斜坡上升/下降功能）

自帶循環(huán)功能

配方記憶功能/配方確認功能

每個流量的記錄功能

由于可以記錄產(chǎn)生的氣體的流量,，因此可以保留操作狀態(tài)的記錄,。

MFC自動調(diào)零功能

可通過 PC 軟件進行自動調(diào)零。

報警功能

●流量異常 ●外部異常報警 ●通訊異常

配備寬范圍MFC

配置軟件該

裝置配備了 MFC,，允許客戶更改氣體類型和流量范圍,。

您可以使用專用軟件（配置軟件）輕松更改 MFC 規(guī)格，而無需拆卸 MFC,。

即使您更改MFC氣體類型或流量范圍，控制軟件也會自動加載MFC信息,，使更改后的初始設(shè)置變得容易,。

易于改變氣體類型

MFC的多氣體功能可以讓您輕松改變氣體類型。無需使用轉(zhuǎn)換系數(shù)進行校正,，并且可以精確控制流量,，因此在更換多個氣瓶時使用時非常有效。

寬范圍濃度產(chǎn)生

MFC的多范圍功能可以在不增加MFC的情況下大大擴展混合氣體的濃度范圍,。由于可以在較寬的濃度范圍內(nèi)生成,，因此可以減少MFC生產(chǎn)線的數(shù)量并降低成本,。