中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀SuperViewW系列以白光干涉技術(shù)為原理,，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。它在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能；

3)多區(qū)域自動測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結(jié)合自動單測量功能,，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報表導出：支持word,、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能,，支持圖像,、數(shù)值結(jié)果的導出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

鏡頭安全功能：雙重防撞保護,，軟件ZSTOP防撞保護,，設(shè)置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲,；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描,、3D分析,、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊,，能夠適配中圖W系列,、VT系列、WT系列所有3D儀器機型,，可自主識別機型種類,，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗,，重構(gòu)了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離,、角度,、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量。

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正,，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量,。

自動拼接功能

支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。

中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀具有測量精度高,、操作便捷,、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短,，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

部分技術(shù)指標

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