中圖儀器SuperViewW光學(xué)3D表面形貌儀是一款以白光干涉技術(shù)為原理的,，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。它結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點(diǎn)位時,，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能；

3)多區(qū)域自動測量：可設(shè)置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點(diǎn)位,，一鍵實(shí)現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能；

4)自動拼接測量,；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,，結(jié)合自動單測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整,、去噪、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,，針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

9)數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出：支持word,、excel,、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，支持圖像,、數(shù)值結(jié)果的導(dǎo)出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù),；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲,，確保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù),，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位,，不再下移且伴有報警聲；設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風(fēng)險,。

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

粗糙度應(yīng)用案例

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌儀對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

部分技術(shù)指標(biāo)

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