Sensofar經(jīng)濟(jì)型白光干涉共聚焦顯微鏡S lynx

一、產(chǎn)品概述——緊湊、靈活,、強(qiáng)大

Sensofar經(jīng)濟(jì)型白光干涉共聚焦顯微鏡S lynx是款為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀,，用于工業(yè)和科研應(yīng)用，其設(shè)計(jì)定位是個(gè)緊湊和靈活的系統(tǒng),。它設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,、用途多樣,。光學(xué)輪廓儀Slynx能夠測(cè)量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu),，表面粗糙度和波度,，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的美觀形貌,測(cè)量應(yīng)用,。Sensofar的核心是將3種測(cè)量方式融于體,，確保了其*的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng),，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn),。

SENSOFAR公司作為干涉共焦顯微鏡的發(fā)明者，開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在起,，無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦,、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶無需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀,。

SENSOFAR在1999年創(chuàng)立之初,，就是以三維表面形貌測(cè)量為主要研發(fā)方向，通過持續(xù)不斷地研發(fā)和申請(qǐng)利技術(shù),，在全球范圍內(nèi)創(chuàng)造了數(shù)百種表面形貌測(cè)量應(yīng)用產(chǎn)品,，積累了豐富的技術(shù)實(shí)力。

二,、主要應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓應(yīng)用,、汽車零部件、消費(fèi)電子,、能源,、材料表面、微電子,、LED,、微體古生物學(xué)、光學(xué)鏡片加工,、模具加工,、鐘表制造、腐蝕表面結(jié)構(gòu),、摩擦學(xué)表面結(jié)構(gòu),。

三、主要特點(diǎn)及功能

1）  共聚焦

共聚焦技術(shù)可以用來測(cè)量各類樣品表面的形貌,。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um,。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍,、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí),，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）,。利的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

2） 干涉

白光垂直掃描干涉（VSI）是種廣泛用于測(cè)量表面特性（如形貌或透明薄膜結(jié)構(gòu)）的功能強(qiáng)大的技術(shù),。它適合測(cè)量從光滑到適度粗糙的表面,，無論物鏡的NA或者放大倍數(shù)變化，均可以提供納米的垂直分辨率,。

3） 多焦面疊加

多焦面疊加技術(shù)是用來測(cè)量非常粗糙的表面形貌,。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要,。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s),、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用,。

4） 真彩色共聚焦圖像

每個(gè)像素點(diǎn)都能還原真實(shí)的色彩,，在掃描時(shí)紅、綠,、藍(lán)三色LED交替照明,，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法,，用這種技術(shù)獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝*,。

四、主要優(yōu)勢(shì)：

1） 實(shí)時(shí)圖像    

SENSOSCAN為您呈現(xiàn)清晰的共聚焦實(shí)時(shí)圖像,。我們的圖像質(zhì)量和速度進(jìn)一步提升,，在共聚焦照明模式下可達(dá)9幀/秒，在明場(chǎng)照明模式下高達(dá)30幀/秒,。與此同時(shí),，還有多種實(shí)時(shí)圖像模式選擇。

2） 豐富的參數(shù)設(shè)定

通過調(diào)整參數(shù)可優(yōu)化測(cè)量步驟,。例如,，優(yōu)化自動(dòng)對(duì)焦設(shè)定能夠減少測(cè)量時(shí)間，采用多級(jí)的照明和優(yōu)化掃描范圍可觀察復(fù)雜的3D形貌,。優(yōu)化后的測(cè)量參數(shù)可存儲(chǔ)為單點(diǎn)（SMR）或多點(diǎn)（MMR）程序測(cè)量,。

3） 一鍵3D測(cè)量  

用戶只需找到測(cè)量位置 ， 點(diǎn)擊3D測(cè)量按鈕,，SensoSCAN的軟件將自動(dòng)調(diào)整照明亮度,，自動(dòng)對(duì)焦，執(zhí)行較佳的測(cè)量模式,，將精準(zhǔn)的測(cè)量結(jié)果于彈指間為您呈現(xiàn),。

4） 交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析      

演示及渲染選項(xiàng),。內(nèi)置測(cè)量軟件有測(cè)量尺寸,，角度,，距離，直徑,，標(biāo)注特性等功能,。因此，SensoSCAN是一款解決各種分析任務(wù)的理想軟件,。您還可選擇以下兩套高階軟件來完成更復(fù)雜的分析SensoMAP和SensoPRO,。

5） 進(jìn)階分析

更豐富的進(jìn)階分析功能可進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償，形狀去除（平面,，球形,，不規(guī)則形狀），濾波分析,，剪裁和提取輪廓等,。用戶可生成分析模版保證分析的連續(xù)性和一致性。